Поиск
Алмазосодержащее корпусное устройство для резки полупроводниковых пластин
Номер патента: 12211
Опубликовано: 30.08.2009
Авторы: Антипов Михаил Николаевич, Гаевская Татьяна Васильевна, Ковальчук Геннадий Филиппович, Васильев Валерий Лукич, Цыбульская Людмила Сергеевна, Гайдук Илья Леонидович
МПК: B28D 5/00, H01L 21/02
Метки: алмазосодержащее, резки, устройство, пластин, корпусное, полупроводниковых
Текст:
...С и катодной плотности тока 2,0-3,0 А/дм 2 (фигура). Изготовление алмазосодержащего устройства для резки полупроводниковых пластин из кремния и материалов группы А 3 В 5 по данному изобретению включает следующие операции изготовление корпуса из сплава алюминия Д 16 электрохимическое осаждение тонкого слоя меди для обеспечения хорошего качества сцепления последующих нанесенных алмазосодержащих слоев электрохимическое осаждение внешнего...