Устройство для возбуждения разряда в импульсном генераторе электроэрозионной плазмы

БЕЛАКРУСЬГЭАСТ не ГДЕНВТВШ а у ж(72) зепенновсжшйдйм перекатов ЮА Сели-фа нов Овд-Точицючй Э 1 И. . С -Тздепенковский Эдуард Михайпович Пер-екатовЮрий Ацексеевич Сепифанов Олег Владимире аич Трчицкий Эдуард Иванович(56) Аеторшоесаидетельство СССР М 1503378. кп Н-ОЗН 1/00 1 г 96. С Джилмдрдпоквуд Импупьшые генераторы метагшичъаской плазмы. ТИИЭР, 160. М В 1972. сБ 76 Ц д - -(54) устройства для возвуждвнийардъ .Изобретение относится к электротехнике. предназначено для возбуждения разряда в импульсном генератореиспользовано в вакуумных сильноточных зпектроразрядных устройствах технологического назначения. например-для нанесе ния покрытий.Целые изобретения является повышение надежности возбуждения разряда и снижение неравномерности эрозии рабочей поверхности катодащдууем перемещеНИЯ ЗОНЫ КОНТЭКТЭ ОДНОВРЕМЕННО ПС токопроводу и катоду. -На чертеже схематично изображено предложенное устройство. 1 яУстройство содержит снабженный тонкопленочным токопроводом 1 кольцевой изолятор 2. установленный с эксцентриситетом относительно цилиндрического катода 3 генератора. Диаметр отверстия в изоляторе 2 превышает диаметр катода 3. Тонкопленочный токопровод 1 контактирует с рабочим торцом като.да 3. место их контакта при пропускании через него импульса тока является зоной испарения 4 Тонкопленочный токопровод 1 нанесен .на поверх ность изолятора 2. обращенную к рабочемуторцу катода 3 и аноду 5 генераторацУстройствосодержит также поджигающий электрод б охватывающий с зазором рабочий торец катода 3 генератора. и п-ружинящийду 3, поджигающий электрод блрижагк тонкопленочному токопроводу 1 для обеспечения. электрического контакта между ними. Изолятор 2 снабжен меканизмомего перемещения. - я яМеханизм перемещения изолятора выполнен в виде кольцевого держателя 8 изо лятора 2 подпружиненттого гало-мощьюс возможностью вращения вокруг оси иснаб- жени-той, роликами 11.-взаимодейству 3 ющими. с держателем 8 изолятора 2. гцприче-м покрайней мере один из роликов 11 связан с ц-илиндрической втулкой 10 посредством пружинящего элемента 7. чтет-обеспечиваетналичие геометрически незамкнутой кине МВТИЧЭСКОЙ пары МЕЖДУ. ЦИЛ-ИНДРИНЗСКОЙвтулкой 1 Оидержателем 8 изолятора 2. у Устройство возбуждениярзэряда включает. кроме того. соединенный токоплрово тора с равномернымзазором чЦИЛИНДрИЧВдами с поджигающим электродом 6 и катодом 3 генератора управляемый импульсный источник питания и вращательный приводУСТРОЙСТВО для возбуждения разряда вимпульсном генераторе электроэрозионной плазмы работает следующим образом. Приводят во вращение цилиндрическую втулку 10, кинематически связанную судержателем 8 изолятора 2 посредством пру жинящегоалемента 7. пружины Эироликов . д 11. Поскольку изолятор 2 установлен экс- 1центрично относительно катода 3 генерато ра.а следовательно. .и относительно оси цилиндрической втулки 10. расположенной соосно с катодом 3. ролики 11 катятсяло .держателю 8 изолятора. обеспечивая изоля тору-2 перемещение. при котором он обка- стывает катод.3 у по кромке его. рабочего . торца. при этом зона испарения 4 (местоконтакта тон копленочного токопроводат 1- скатодом 3 перемещается одновременно по .тонкопленочному токопроводу 1 и катоду 3. С помощью управляемого импульсного ис точника питания итокоподводов к катодуЗ .и-п-оджигающему электроду 6 через тонко ттленочнътй токопровод 1 периодически про- 1 пускают импульсы тока. которыми Т/ с осуществляют испарение материалаьтонко- пленочногостокопровода 1. Так как испаре- .ние сносит электровзрвлвной схарактер. в эонеиспарения образуется инициирующая плазма которую подают ив обьемгенератог ра. вызывая в нем при каждомзаполчнении инициирующей плазмой межзлектродногопромежутка катод Зг-анод-Б воз-буждение вакуумного сильноточного электрическогоразряда. горение которого сопровождаетсяпри помощи системы подачи. предусмотренной вогенераторе. Пружинящий элемент 7 обеспечивает надежный контакт тонко пленоч-ного токопровода 1 с ткатодом 3 гене-ратора. - что гарантирует. образование зоны испарения 4 исоответстве-нно испарениематериала тонкопленочного токопровода .1. даже при значител ьном увел ичениидиамет раттзолятора в случае его эрозии в процессе работы. генератора 1 с В таком выполнениино увеличивает срок его службы и повышает надежностьвозбуждения разряда.1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВОЗБУЖДЕНИЯ РАЗРЯДА В ИМПУЛЬСНОМ ГЕНЕРАТОРЕ ЭЛЕКТРОЭРОЗИОННЫЙ ПЛАЗМЫ. содержащее цилиндрический катод. охватываю щий его кольцевоггизоляторг. на . обращеннуоог в тддну оторви-у с рабочим торцом катода поверхность которого нанесен тонкопленочные токоп-равод. поджигающий электрод и пружинящий элементпдподжи моющий изолятор.кт ткатоду. отличающийся аи возбуждения разряда и снижения неравно мерности эрозии рабочей поверхности ка Иих . ч . 15 метода путем перемещения зоныконтактаодновременно по токопроводу и катоду. кольцевой изолятор установлено зксцентч риситетом относительно катода и снабжен механизмом перемещения.2. Устройство по п.1. отличающееся тем. что механизм перемещения изолятора выполнен в виде кольцевого держателялизолятора и установленной под этим коак 7 сиально катоду тдипиндрическои втулки.снабжен-ной элементом вращения отвесн тельно своей оси и роликами. взаимодей-т ствующими сдержателем изолятора при чем по меньшей мере один из роликов.