Способ изготовления монолитных элементов на основе керамики

ЗАРЕГИСТРИРОВАН БЕлАРуоЬ ПАТЕНТ 1.19ГОСХДАРСТВЕННЫЙН 0 МИТЕТСССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИИ И ОТНРЫТИИЭЛЕМЕНТОВ НА основе КЕРАМИКИ е А(57) Изобретение относится к области радиоэлектроники Целью изобретенияявляется увеличение выхода годных мо НОЛИТНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ на ОЦНОВЕ керам ки при и изготовлена. Способ вкпю- одна на другую, уплотненем вырезы ванием заготовок из уплотненным оопос И.общигом. Обжиг заготовок из уплотненны путем вальцевания вдоль и поперек полос керамической пленки осуществляют на подложке спеченной из того же материала, что и ивготавпи . ваемые монолитные эпементы,с возжжен слоем подсыпки из этого же материала. После обжиге заготовок госуществддют металлизациюъУплотне 5 дние полос вальцеванием вдоль и-пое1 заготовок обеспечивается высокое ка чество обжига за счет предотвращенияИ Устранения их деформации при обжиге. л Ивенно из пьезоэлектрической керами- 5,кн.Целью изобретения является увеличение вьшода.годных монолитных элементов на основе керамики. доммруютлолосы керамической пленки,накладывают их однана другую, уплотняют-вьюезывают заготовки из уплотненным полос керамической пленки, 06-15-тжигаютнх В энмкнутайЬбъеме на под- ложке, спеченной из того же материала, что и изготавливаемые монолитые элементы, с возжженным в нее слоем подсыпки из этого же материала, и металлизируют заготовки, причем уплотнение полоскерамической пленки осуществляют путем вальцевания вдоль и поперек полос кераммческойппенки Уплотнение полос.керамческойплен-25 кн вальцеванием вдоль.и поперек полособеспечивает высокую монолитность заготовок прнмалой их толщине до (200-500 мкм). Обжиг заготовок на подложке, спеченной из того же материала, что и изготавливаемые.монолитные элементы, с возжженньм в нее слоем подсышки из этого же материазаготовок за счет предотвращения прилипания заготовок к поверхности подпожки и устранения их деформации при обжиге. уП р И М е р . Для изготовления монолитных элементов на основе керамки, обладающей пьезосвойствами,готовят питьевой шликер, состоящий из порошка пьезокерамки на основе цирканата-титаната свинца (ЦТС)чИ связующего на основе растворенного каучука. Шликер разливают в виде слон.толщИт ной 90-129 мкм на движущуюся технологическую подложку, Полученную пленку разделяют на полосы, которые собирают в набор из трех полос путем наложения одна на другую. Этот наборРедактор Нгцалихина Техред М,Дидыж Составитель В.Банковвщшщттсушшпшшшм 1 Д-Д 5 смчала ВДОЛЬ, а ЗЗТЕМ ПОПЕРЕК ПОЛОС керамической пленкичто обеспечивает формирование хорошо уплотненного пакета толщиной 200-250 мкм. Из пакета уплотненных полос керамической пленки вырубают заготовки диаметром 35 мм. Заготовки размещают на подложке из пьезокерамнки ЦТС, н рабочую поверхность которой возжжен слойподсьшки пьезокераммки ЦТС с размером зерен 100-150.мкм. спекание подложки проводят при темературе на 20-30 С превышающей температуру обжига заготовок. Обжиг заготовок на подложке проводят в тигеле при 1200 126 ОС. Обожиенные заготовки металлизируют путем вакуумного напыленияМЕДИ. ПОСЛЕ ЭТОГО ПРОВОДИТ ПОЛЯрИЭЗ ЦИЮ МОНОПНТНЬПС ЭЛЕМЕНТОВ.Изготовление монолитным элементов на основе керамики в соответствии с изобретением обеспечивает увеличение выхода годных на 25-30 по сравнению с известным способами изготовления,при этом могут быть получены монолитные злементыс толщиной до 200 мкм.Способ изготовления монолитных элементов на основе кераммки,включаю Щий формирование полос керамической ПЛЕНКИ С п 0 следУющнминаложением их одна на другую, уплотнением, вырезнг ванием заготовок из уплотненным полос керамической.плеики обжигом заготовок в замкнутом объемеиметаплизацию, о т л идч а ю щ и й с н тем, что, с целью увеличения вьшода годным,-обжиг заготовок из уплотнент ныл путем вальцеваня вдоль и поперек полос керамческой пленки осуществляют на подложке, спеченной из того же материала, что и изготавливаеые монолтные элементы, с возжженным.в нее слоем пцдсылкн из зто го же материала, а металлизацию осуществляют после обжига заготовок.Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений иоткрытий 113035, Москва, ЖЗ 5, Раушская наб., д. 4/5