ВОЛЬРАБ, Кристиан

Слоистая система с по меньшей мере одним слоем смешанных кристаллов многокомпонентного оксида

Загрузка...

Номер патента: 18017

Опубликовано: 28.02.2014

Авторы: РАММ, Юрген, ВИДРИГ, Бено, ВОЛЬРАБ, Кристиан, АНТЕ, Майкл

МПК: C23C 14/32, C23C 14/08

Метки: многокомпонентного, мере, слоистая, слоем, система, оксида, смешанных, меньшей, одним, кристаллов

Текст:

...Для как можно более простого и воспроизводимого способа выгодно выбирать технологические параметры так, чтобы состав металлов слоя смешанных кристаллов после нормирования на полное содержание металлов в отношении соответствующих долей металла отличался от содержания металлов в мишени не более чем на 10, предпочтительно не более, чем на 5, в частности, не более, чем на 3 . Это удается достичь, например, удержанием указанных в экспериментальных...

Способ получения слабоэлектропроводящих, в частности, изолирующих слоев

Загрузка...

Номер патента: 16565

Опубликовано: 30.12.2012

Авторы: РАММ, Юрген, ВИДРИГ, Бено, ВОЛЬРАБ, Кристиан

МПК: C23C 14/32

Метки: способ, получения, слабоэлектропроводящих, частности, изолирующих, слоев

Текст:

...Предположительно в предложенном способе возникает ход искры, контролируемый эмиссией электронов отравленной поверхности мишени. Поскольку поперечное ускорение радиального магнитного поля больше не вынуждает искру перемещаться по траектории, искра предпочтительно перескакивает в места мишени с наибольшей эмиссией электронов. В случае алюминиевой мишени, испаряемой посредством искры в кислороде, она движется к месту, где слой оксида алюминия...