Труханов Алексей Валентинович

Способ получения пленок феррит-шпинели

Загрузка...

Номер патента: 16206

Опубликовано: 30.08.2012

Авторы: Стогний Александр Иванович, Труханов Алексей Валентинович, Новицкий Николай Николаевич, Пашкевич Михаил Викторович

МПК: H01F 10/20, C23C 14/06, C23C 14/58...

Метки: способ, феррит-шпинели, пленок, получения

Текст:

...30-60 минут в среде кислорода. Сущность изобретения заключается в следующем полированные пластины кремния ориентации (100), диаметром 76 мм служили подложками и препарировались по стандартной методике. Составная мишень формировалась компактированнием керамических образцов (1-)24 заданного состава в виде полиэдров размерами (8055 мм). 2 16206 1 2012.08.30 Распыление мишени производилось в среде кислорода при температуре внутри камеры 905...

Способ изготовления прозрачного омического контакта к эпитаксиальному слою нитрида галлия p-GaN

Загрузка...

Номер патента: 15439

Опубликовано: 28.02.2012

Авторы: Стогний Александр Иванович, Пашкевич Михаил Викторович, Труханов Алексей Валентинович, Новицкий Николай Николаевич

МПК: B82B 3/00, H01L 33/00, H01L 21/02...

Метки: галлия, способ, слою, контакта, p-gan, изготовления, эпитаксиальному, нитрида, омического, прозрачного

Текст:

..., причем сначала наносят первый слой омического контактатолщиной 3 нм с собственной проводимостью -типа, затем слой золота толщиной 4 нм, а потом на полученную двухслойную контактную структуру наносят второй слойтолщиной не менее 3 нм и в результате формируют контактную структуру ///-. Новым, по мнению авторов, является то, что перед нанесением первого слоятолщиной 3 нм на слой - наносят слой аморфного нитрида галлия толщиной не менее...

Ионный источник

Загрузка...

Номер патента: 15032

Опубликовано: 30.10.2011

Авторы: Стогний Александр Иванович, Труханов Алексей Валентинович, Новицкий Николай Николаевич, Пашкевич Михаил Викторович

МПК: H01H 1/00, H01J 27/02, H01J 27/00...

Метки: ионный, источник

Текст:

...и изолятор 10 между дополнительным электродом 7 и фланцем 9. Со стороны анода 1 полый катод 2 закрыт фланцем 9 с осевым контрагирующим отверстием 11, в которое введен анод 1, а в зазор(на фигурах не показано) контрагирующего отверстия 11, образованного фланцем полого катода и анодом, помещен керамический изолятор 12. Внутри полого катода 2 расположена осесимметричная внутренняя магнитная система 13, снабженная корпусом 14. Внешняя магнитная...

Способ получения наноразмерных пленок BaxSr1-XTiO3

Загрузка...

Номер патента: 14780

Опубликовано: 30.08.2011

Авторы: Стогний Александр Иванович, Пашкевич Михаил Викторович, Новицкий Николай Николаевич, Труханов Алексей Валентинович

МПК: C30B 29/32, H01L 27/00, C30B 23/06...

Метки: пленок, наноразмерных, baxsr1-xtio3, способ, получения

Текст:

...пленки титаната бария-стронция, который заключается в том, что с помощью ионно-лучевого распыления в среде смеси газов аргона и кислорода напыляли буферный слой диоксида титана (2) на подложку из ситала. В дальнейшем на слой Т 2 методом ионно-лучевого распыления при температуре 620640 С наносили наноразмерную пленку 1-3. Недостатком данного способа является большая толщина гетероструктуры пленка 1-3 - буферный слой за счет большей (20 нм)...

Ионный источник

Загрузка...

Номер патента: 13847

Опубликовано: 30.12.2010

Авторы: Пашкевич Михаил Викторович, Труханов Алексей Валентинович, Стогний Александр Иванович, Новицкий Николай Николаевич

МПК: H01J 27/00, H01L 3/00, H01J 27/02...

Метки: ионный, источник

Текст:

...7, изолятор 8 между анодом 1 и фланцем 9 и изолятор 10 между дополнительным электродом 7 и фланцем 9. Со стороны анода 1 полый катод 2 закрыт фланцем 9 с осевым контрагирующим отверстием (на чертеже не показано), в которое введен анод 1. Внутри полого катода 2 расположена осесимметричная внутренняя магнитная система 11, снабженная корпусом 12. Внешняя магнитная система 5 и дополнительная магнитная система 6 ориентированы одноименными...

Генератор атомарного водорода

Загрузка...

Номер патента: 13950

Опубликовано: 30.12.2010

Авторы: Пашкевич Михаил Викторович, Стогний Александр Иванович, Новицкий Николай Николаевич, Труханов Алексей Валентинович

МПК: H01J 27/00, C23C 14/35

Метки: генератор, водорода, атомарного

Текст:

...кроме области соединения с ионизационной камерой 4, и таким образом, что между дополнительной полостью 6 и кожухом 7 образуется полость (на чертеже не показано), являющаяся водной рубашкой после заполнения проточной водой. Магнитная система 8 находится внутри водной рубашки и служит для создания магнитного поля величиной 0,1 Тл в области выхода торца полости кольцеобразного сечения 5 в дополнительную камеру 6. Кольцо 9 возле закрытого торца...