Титко Елена Александровна

Устройство автоматической фокусировки

Загрузка...

Номер патента: U 10346

Опубликовано: 30.10.2014

Авторы: Титко Елена Александровна, Крот Вадим Валентинович, Есьман Василий Михайлович

МПК: G03B 27/42

Метки: фокусировки, устройство, автоматической

Текст:

...рисунку и технологическим слоям подложки по сравнению с описанными в 1, 2, но его точность ограничивается тем, что на поверхность подложки строится одна линия, изображение которой искажается рельефом топологии подложки. Целью полезной модели является повышение точности работы устройства автоматической фокусировки за счет снижения влияния рельефа топологических слоев на погрешность измерения положения поверхности подложек. Поставленная...

Устройство автоматической фокусировки

Загрузка...

Номер патента: U 10311

Опубликовано: 30.10.2014

Авторы: Титко Елена Александровна, Есьман Василий Михайлович, Агейченко Александр Степанович

МПК: G03B 027/42

Метки: автоматической, фокусировки, устройство

Текст:

...волны инфракрасного диапазона, конденсора, маски, апертурную диафрагму, первый объектив, поворотные зеркала, второй объектив, амплитудно-фазовый пространственный фильтр, блок определения вертикального положения подложки, блок управления координатным столом 2. Недостатком прототипа является дополнительная погрешность в измерении положения поверхности пластины из-за присутствия паразитного изображения маски в свете, отраженном от нижней...

Шаговый двигатель

Загрузка...

Номер патента: U 9728

Опубликовано: 30.12.2013

Авторы: Литвинов Егор Алексеевич, Кекиш Николай Иванович, Титко Елена Александровна, Дайняк Игорь Викторович, Титко Дмитрий Сергеевич, Карпович Святослав Евгеньевич, Поляковский Виталий Викторович, Бегун Дмитрий Геннадьевич, Жарский Владимир Владимирович

МПК: H02K 41/03

Метки: шаговый, двигатель

Текст:

...Поставленная задача решается за счет конструктивно-технологических особенностей шагового двигателя, который включает в себя один электромагнитный преобразователь,состоящий из многополюсных магнитопроводов, постоянных магнитов, расположенных между ними обмоток управления, и по меньшей мере один индуктор, взаимодействующий с электромагнитным преобразователем посредством направляющей из ферромагнитного материала, причем индуктор выполнен...