Терехова Светлана Михайловна

Способ получения карбонитридных покрытий

Загрузка...

Номер патента: 2433

Опубликовано: 30.12.1998

Авторы: Терехова Светлана Михайловна, Тарасова Валентина Николаевна, Костюкевич Эдуард Лукич, Карпенко Геннадий Дмитриевич, Лойко Владимир Алексеевич, Буренков Виктор Васильевич

МПК: C23C 14/32

Метки: получения, способ, покрытий, карбонитридных

Текст:

...образу ется качественное карбонитридное покрытие с составом от ТСО, 2 Ыдядо Т 1 СО,ВЫд 9 без загрязнений и примесей свободного углерода. Таким образом, в предлагаемомспособе обеспечивается постоянная заданная концентрация паров углеводорода за счет поддержания постоянной температуры термостатированием не зависимая от дискретного характера подачи газа,а давление газа легко контролируется обычными средствами измерения вакуПри температуре свыпе...