Сугакова Татьяна Евгеньевна

Состав для очистки поверхности полупроводниковых пластин

Загрузка...

Номер патента: 5639

Опубликовано: 30.12.2003

Авторы: Иванчиков Александр Эдуардович, Медведева Анна Борисовна, Емельянов Виктор Андреевич, Гранько Владимир Ильич, Сугакова Татьяна Евгеньевна, Кисель Анатолий Михайлович

МПК: H01L 21/306

Метки: очистки, пластин, полупроводниковых, поверхности, состав

Текст:

...тому, что содержит кислородный гетероцикл фиксированных размеров, избирательно захватывающий ионы щелочных и щелочноземельных металлов. Пропанол-2 (изопропиловый спирт, ИПС) - материал квалификации ос.ч., производится на соответствие ГОСТ 9805-84. Химическая формула СН 3-СН(ОН)-СН 3. Это бесцветная прозрачная жидкость. Хорошо растворяется в воде. Относится к классу спиртов и к группе неионогенных поверхностно активных веществ. Умеренно...