Смагин Дмитрий Леонидович

Способ получения пленки борофосфоросиликатного стекла

Загрузка...

Номер патента: 4154

Опубликовано: 30.12.2001

Авторы: Наливайко Олег Юрьевич, Емельянов Виктор Андреевич, Смагин Дмитрий Леонидович, Сидерко Александр Александрович, Пшеничный Евгений Николаевич

МПК: H01L 21/316

Метки: способ, пленки, получения, борофосфоросиликатного, стекла

Текст:

...При температуре испарителя с ТЭОС выше 70 С повышаются расход ТЭОС и неоднородность толщины пленок. При температуре испарителя с ДМФ ниже 20 С не обеспечивается необходимая концентрация фосфора в пленке из-за резкого снижения парциального давления ДМФ. При температуре испарителя с ДМФ выше 35 С в реактор подается избыточное количество паров ДМФ и суммарная концентрация бора и фосфора превышает 10 вес. , кроме того, повышается...

Способ осаждения пленок фосфоросиликатного стекла

Загрузка...

Номер патента: 3924

Опубликовано: 30.06.2001

Авторы: Смагин Дмитрий Леонидович, Наливайко Олег Юрьевич, Пшеничный Евгений Николаевич, Буслов Игорь Иванович, Емельянов Виктор Андреевич

МПК: H01L 21/316

Метки: способ, стекла, осаждения, фосфоросиликатного, пленок

Текст:

...концентрации фосфора в пленке, так как соотношение потоков ТЭОС/ДМФ поддерживается более точно. Дополнительным преимуществом является более экономное использование реагентов. При температуре испарителя ТЭОС ниже 50 С из-за относительно низкого давления паров реагентов снижается скорость осаждения, что повышает издержки производства. При температуре испарителя ТЭОС более 70 С из-за относительно высокого давления паров трудно...