Сидерко Александр Александрович

Способ химического осаждения из газовой фазы пленок вольфрама

Загрузка...

Номер патента: 15149

Опубликовано: 30.12.2011

Авторы: Каленик Вера Ивановна, Турцевич Аркадий Степанович, Наливайко Олег Юрьевич, Солодуха Виталий Александрович, Сидерко Александр Александрович

МПК: H01L 21/285, C23C 16/14

Метки: химического, вольфрама, способ, пленок, фазы, осаждения, газовой

Текст:

...от 360 до 475 С и давлении от 4 до 60 мм рт.ст., с подачей или без подачи азота, прекращение подачи моносилана и гексафторида вольфрама, создание в реакторе давления для осаждения основного слоя и осаждение основного слоя вольфрама восстановлением гексафторида вольфрама водородом при температуре от 360 до 475 С и давлении от 70 до 90 мм рт.ст. перед осаждением зародышевого слоя проводят выдержку пластины в среде моносилана с потоком от...

Устройство подачи паров жидкого вещества в реактор установки химического осаждения из газовой фазы

Загрузка...

Номер патента: 11859

Опубликовано: 30.04.2009

Авторы: Пшеничный Евгений Николаевич, Плебанович Владимир Иванович, Наливайко Олег Юрьевич, Сидерко Александр Александрович

МПК: F24H 9/02, B01F 03/04, G05D 23/00...

Метки: химического, осаждения, жидкого, паров, установки, фазы, устройство, подачи, газовой, реактор, вещества

Текст:

...использование резервуара меньшей емкости (например, 5 литров или менее). Использование обогреваемого трубопровода для подачи паров жидкого вещества в реактор технологической установки позволяет исключить конденсацию паров и засорение трубопровода. Для исключения конденсации паров внутри трубопровода необходимо обеспечить нагрев трубопровода до температуры на 2-5 С выше температуры паров жидкого вещества. Использование измерителя потока паров...

Способ получения пленки борофосфоросиликатного стекла

Загрузка...

Номер патента: 4154

Опубликовано: 30.12.2001

Авторы: Пшеничный Евгений Николаевич, Сидерко Александр Александрович, Емельянов Виктор Андреевич, Наливайко Олег Юрьевич, Смагин Дмитрий Леонидович

МПК: H01L 21/316

Метки: борофосфоросиликатного, способ, стекла, получения, пленки

Текст:

...При температуре испарителя с ТЭОС выше 70 С повышаются расход ТЭОС и неоднородность толщины пленок. При температуре испарителя с ДМФ ниже 20 С не обеспечивается необходимая концентрация фосфора в пленке из-за резкого снижения парциального давления ДМФ. При температуре испарителя с ДМФ выше 35 С в реактор подается избыточное количество паров ДМФ и суммарная концентрация бора и фосфора превышает 10 вес. , кроме того, повышается...