Шкуратов Александр Георгиевич

Способ получения пленки борофосфоросиликатного стекла

Загрузка...

Номер патента: 8992

Опубликовано: 28.02.2007

Авторы: Ануфриев Леонид Петрович, Турцевич Аркадий Степанович, Шкуратов Александр Георгиевич, Глухманчук Владимир Владимирович, Соловьев Ярослав Александрович

МПК: C23C 16/40, H01L 21/316, C23C 16/455...

Метки: способ, пленки, получения, стекла, борофосфоросиликатного

Текст:

...откачке.Использование идентичной или сходной последовательности действий для решаемой задачи не обнаружено.Решение поставленной задачи объясняется следующим образом. Подача в реактор паров ТЭОС, ФСС и БСС после стабилизации их потоков продувкой паров, минуя реактор(сначала по сбросовь 1 м магистралям пары реагентов подаются на скруббер, производится стабилизация их потоков, а затем переключением соответствующих клапанов производится...

Способ осаждения пленки фосфоросиликатного стекла

Загрузка...

Номер патента: 8991

Опубликовано: 28.02.2007

Авторы: Шкуратов Александр Георгиевич, Соловьев Ярослав Александрович, Турцевич Аркадий Степанович, Ануфриев Леонид Петрович, Становский Владимир Владимирович

МПК: H01L 21/316, C23C 16/455, C23C 16/40...

Метки: стекла, осаждения, фосфоросиликатного, способ, пленки

Текст:

...реактор, после осаждения пленки фосфоросиликатного стекла требуемой толщины прекращают подачу в реактор паров фосфоросодержащего соединения,осаждают адгезионный слой двуокиси кремния толщиной 10-25 нм без изменения температуры реактора и давления и прекращают подачу паров тетраэтоксисилана, при этом в качестве фосфоросодержащего соединения используют диметилфосфит, триэтилфосфит,триметилфосфит или триметилфосфат, дополнительно...

Способ формирования слоев поликристаллического кремния

Загрузка...

Номер патента: 8758

Опубликовано: 30.12.2006

Авторы: Глухманчук Владимир Владимирович, Турцевич Аркадий Степанович, Шкуратов Александр Георгиевич, Ануфриев Леонид Петрович

МПК: C23C 16/24, H01L 21/365

Метки: кремния, способ, формирования, слоев, поликристаллического

Текст:

...то обеспечивается термическая однородность. Осаждение поликремния осуществляется только после вывода реактора на второй уровень температуры, чем обеспечивается минимальный разброс температуры как вдоль реактора, так и по поверхности пластин и, следовательно, повышается стабильность и воспроизводимость процесса осаждения по толщине слоя поликристаллического кремния. При высокой скорости подъема температуры (более 9 С/мин) термическая...