Сердюков Анатолий Николаевич

Способ разделения резкой кристаллического кремния под действием термоупругих напряжений

Загрузка...

Номер патента: 16483

Опубликовано: 30.10.2012

Авторы: Никитюк Юрий Валерьевич, Шолох Владимир Федорович, Сердюков Анатолий Николаевич, Шалупаев Сергей Викентьевич

МПК: C03B 33/02, C03B 33/09, B28D 5/00...

Метки: напряжений, резкой, термоупругих, способ, действием, кристаллического, кремния, разделения

Текст:

...перемещении лазерного пучка и кремния и локальное охлаждение зоны нагрева хладагентом,перед выбором интенсивности нагрева определяют значение модуля Юнга , ГПа, в 2 16483 1 2012.10.30 направлении, перпендикулярном плоскости разделения, интенсивность нагрева выбирают пропорционально модулю Юнга , ГПа, в направлении, перпендикулярном плоскости разделения, причем соотношение скорости относительного перемещения лазерного пучка и кремния , м/с, и...