Плахотнюк Василий Иванович

Устройство для измерения внутренних напряжений в тонких пленках

Загрузка...

Номер патента: 6176

Опубликовано: 30.06.2004

Авторы: Макаревич Евгений Владимирович, Фролов Игорь Станиславович, Иващенко Сергей Анатольевич, Плахотнюк Василий Иванович

МПК: G01B 11/16

Метки: напряжений, пленках, устройство, внутренних, тонких, измерения

Текст:

...этом обеспечивается высокая точность показаний регистрирующей системы устройства и автоматизация процесса измерений. Применение в заявляемом устройстве дополнительных источника когерентного света и измерительного экрана, расположенных в вертикальной плоскости, проходящей через точку закрепления подложки, позволяет измерять напряжения в двух взаимно перпендикулярных плоскостях. Это дает возможность получать более полную картину распределения...

Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Загрузка...

Номер патента: 6136

Опубликовано: 30.06.2004

Авторы: Фролов Игорь Станиславович, Макаревич Евгений Владимирович, Плахотнюк Василий Иванович, Иващенко Сергей Анатольевич

МПК: C23C 14/24

Метки: нанесения, покрытий, вакууме, устройство

Текст:

...15, установленный на одном валу с ведущей шестерней 13 поворотного держателя, и ведомый диск 16 кулачка 17,обеспечивающего периодическое возвратно-поступательное перемещение вала 7 поворотного держателя с пакетом дисков 8 относительно обрабатываемых изделий 3. Силовое замыкание кулачка 17 с валом 7 создается пружиной 18. Время одного оборота вала кулачка 17 фиксируется датчиком 19. Для электрической изоляции пакета дисков 8 вал 7 поворотного...