Пиун Виктор Михайлович

Катодный узел для ионно-плазменного нанесения пленок

Загрузка...

Номер патента: 6143

Опубликовано: 30.06.2004

Авторы: Пиун Виктор Михайлович, Каморников Игорь Михайлович, Малащенко Алексей Терентьевич

МПК: C23C 14/34, C23C 14/35

Метки: узел, ионно-плазменного, катодный, пленок, нанесения

Текст:

...кольцеобразной пластины. В соответствии с изобретением улучшается не только охлаждение катода-мишени, но и постоянного магнита. Создание камеры охлаждения, согласно предложенному, и выполнение катода-мишени и держателя в виде пластин обеспечивает интенсивное охлаждение катода-мишени, за счет эффективного теплоотвода от катода-мишени через пластинудержатель, с одной стороны, и эффективное охлаждение магнитных наконечников и магнитопровода...