Осипов Владимир Петрович

Номер патента: 12741

Опубликовано: 30.12.2009

Авторы: Лапина Виктория Алексеевна, Осипов Владимир Петрович, Казак Николай Станиславович, Чижевский Вячеслав Николаевич, Белый Владимир Николаевич

МПК: G01N 21/88, G01B 11/30

Метки: состояния, элемента, конструктивного, поверхности, способ, оценки

Текст:

...215,4 нм. На фиг. 6 показан 3-профиль вторичного излучения от тестируемой поверхности при шероховатости поверхности 58,0 нм. На фиг. 7 показана блок-схема программной реализации способа оценки состояния поверхности. Оценка состояния поверхности конструктивного элемента, согласно изобретению,осуществляется следующим образом. На фиг. 1 показана возможная конфигурация расположения детектора 5 и, соответственно покрытой поверхности...