Орлова Татьяна Львовна

Устройство автоматической фокусировки

Загрузка...

Номер патента: U 9150

Опубликовано: 30.04.2013

Авторы: Есьман Василий Михайлович, Корнелюк Александр Иванович, Орлова Татьяна Львовна, Красневская Юлия Ивановна

МПК: G03B 27/42

Метки: фокусировки, устройство, автоматической

Текст:

...при использовании устройства фокусировки в контрольно-измерительных установках или к ошибкам в изготовлении элементов топологии (уход размеров и/или их положения) при использовании устройства фокусировки в технологическом оборудовании. Описанное в прототипе устройство автоматической фокусировки обладает несколько меньшей чувствительностью к топологическому рисунку и технологическим слоям подложки по сравнению с аналогом, но его точность...