Нагорный А. А.

Способ изготовления КМОП-структур

Загрузка...

Номер патента: 235

Опубликовано: 30.12.1994

Авторы: Нагорный А. А., Плащинский Г. И., Сидоренко Е. Б., Саньков И. В.

МПК: H01L 21/336

Метки: изготовления, способ, кмоп-структур

Текст:

...ворах с последующей промывкой в деион 12 3 атвдра 7 ннзованной воде и сушкой подложкиП Р И Н В Р 1 После форМнроВа центрифугированием,.формровали поддня 5 накасдВмещенд прдйздодидир т затворный диэлектрик методом термихимнчесКУю обработку подложки после 20 екг Окисденин подложки ПРИ 1 О 00 бС довательно в перекисно-серпом и пе В течение 15 Мин В атмосфере ВдаЖ рекнснотамачном растворах с после- нгкНСлрда ТлщиНй 0512 МКМ- ПРИ дующей промышкой...