Малый Игорь Васильевич

Способ изготовления кремниевой интегральной микросхемы

Загрузка...

Номер патента: 18136

Опубликовано: 30.04.2014

Авторы: Малый Игорь Васильевич, Ефименко Сергей Афанасьевич, Турцевич Аркадий Степанович, Шикуло Владимир Евгеньевич, Солодуха Виталий Александрович, Наливайко Олег Юрьевич

МПК: H01L 27/04, H01L 21/77

Метки: изготовления, кремниевой, интегральной, способ, микросхемы

Текст:

...при низкой температуре (450 С). Для достижения требуемого результата отжиг может повторяться несколько раз, что приводит к увеличению цикла изготовления интегральной микросхемы. 3 18136 1 2014.04.30 В основу изобретения положено решение задачи повышения коэффициента усиления горизонтального транзистора на малых токах, повышения стабильности электрических параметров и увеличения процента выхода годных микросхем. Сущность изобретения заключается...

Конденсатор для интегральных микросхем

Загрузка...

Номер патента: 9129

Опубликовано: 30.04.2007

Авторы: Малый Игорь Васильевич, Глухманчук Владимир Владимирович, Ануфриев Леонид Петрович, Карпов Иван Николаевич, Турцевич Аркадий Степанович

МПК: H01L 29/92, H01L 29/94

Метки: интегральных, микросхем, конденсатор

Текст:

...защиты второго слоя конденсаторного диэлектрика на границе обкладки из легированного поликристаллического кремния, что обеспечивает дополнительную возможность использовать легированный слой поликристаллического кремния в качестве разводки. Кроме того, легированный слой поликристаллического кремния выполнен кристаллитным по толщине, где 2-4. У данного слоя легированного поликристаллического кремния и нижняя, и верхняя поверхности...