Ларькин Андрей Викторович

Способ получения тонких пленок с импедансом индуктивного типа

Загрузка...

Номер патента: 17897

Опубликовано: 28.02.2014

Авторы: Жуковский Павел Викторович, Федотов Александр Кириллович, Колтунович Томаш, Максименко Алексей Алексеевич, Ларькин Андрей Викторович, Федотова Юлия Александровна

МПК: C23C 14/46, C23C 14/06, B82Y 30/00...

Метки: типа, индуктивного, тонких, способ, получения, пленок, импедансом

Текст:

...чередующихся пластин металлаи диэлектрика 23, распыляют методом ионно-лучевого распыления в смешанной атмосфере кислорода и аргона при давлении кислорода 4,4110-2 Па и аргона 5,1910-2 Па, с последующим отжигом при температуре 5753 С в течение 15 мин. Сущность способа состоит в том, что он является одностадийным благодаря распылению композиционной мишени методом ионно-лучевого распыления в кислород-содержащей атмосфере. Соотношение площадей...