Курганович Александр Александрович

Способ регенерации травителя на основе ортофосфорной кислоты

Загрузка...

Номер патента: 3417

Опубликовано: 30.06.2000

Авторы: Курганович Александр Александрович, Иванчиков Александр Эдуардович, Довнар Николай Александрович, Кисель Анатолий Михайлович

МПК: H01L 21/306, C23F 1/46

Метки: ортофосфорной, кислоты, основе, травителя, способ, регенерации

Текст:

...осуществляют путем добавления в отработанный травитель 0,1-0,2 об. ч. воды, нагревания до температуры 90-100 С и выдержки при этой температуре не менее 1 ч. Как показали эксперименты, 0,1-0,2 об. ч. воды достаточно для обратного превращения пирофосфорной кислоты в ортофосфорную. Уменьшение количества воды, добавляемой в травитель, менее 0,1 об. ч. не позволяет всю пирофосфорную кислоту перевести в ортофосфорную, а увеличение количества воды,...