Курдесов Федор Васильевич

Способ получения халькопиритных CuInSe2, Сu (In, Ga) Se2 или CuGaSe2 тонких пленок

Загрузка...

Номер патента: 5894

Опубликовано: 30.03.2004

Авторы: Залесский Валерий Борисович, Гременок Валерий Феликсович, Ковалевский Вячеслав Иосифович, Курдесов Федор Васильевич

МПК: H01L 31/18

Метки: способ, получения, халькопиритных, cuinse2, тонких, cugase2, пленок, или

Текст:

...процессе,на первой стадии которого на исходную подложку различными методами вакуумного напыления (термическим, ионно-плазменным и т.п.) наносятся -, или - металлические пленки с требуемым для синтезируемого соединения атомным соотношением, на второй стадии осуществляется отжиг металлических пленок в парах селена (селенизация),отличающийся тем, что селенизация металлических пленок осуществляется при атмосферном давлении в квазизамкнутой...