Красницкий Василий Яковлевич

Лавинный фотоприемник

Загрузка...

Номер патента: 6271

Опубликовано: 30.06.2004

Авторы: Красницкий Василий Яковлевич, Залесский Валерий Борисович

МПК: H01L 31/06, H01L 31/00

Метки: лавинный, фотоприемник

Текст:

...проводимости 2 с участками буферного слоя 4 соединены параллельно. На обратной стороне подложки 1 сформирован второй металлический электрод 7, образующий омический контакт к подложке 1. Устройство работает следующим образом. К металлическим электродам 5 и 7 прикладывается постоянное напряжение таким образом, чтобы - переход находился под обратным смещением. При этом все приложенное напряжение в основном падает на буферном слое 4 и области...

Способ изготовления обкладки конденсатора из поликристаллического кремния

Загрузка...

Номер патента: 3148

Опубликовано: 30.12.1999

Авторы: Довнар Николай Александрович, Красницкий Василий Яковлевич, Наливайко Олег Юрьевич, Турцевич Аркадий Степанович

МПК: H01L 21/308

Метки: обкладки, изготовления, способ, кремния, конденсатора, поликристаллического

Текст:

...слоя нанесение дополнительного слоя поликристаллического кремния создание выступов травлением дополнительного слоя через фоторезистивную маску формирование контактного окна к подложке во вспомогательном защитном и диэлектрическом слоях осаждение слоя поликристаллического кремния формирование обкладки удаление вспомогательного слоя. Из-за того, что после удаления вспомогательного слоя между сформированной обкладкой и поверхностью...

Способ планаризации кремниевых структур

Загрузка...

Номер патента: 2923

Опубликовано: 30.09.1999

Авторы: Турцевич Аркадий Степанович, Захарик Сергей Владимирович, Красницкий Василий Яковлевич, Аношин Валерий Михайлович

МПК: H01L 21/316

Метки: структур, способ, планаризации, кремниевых

Текст:

...в чистом реакторе, а срок службы реактора и оснастки повышается, что снижает издержки производствам и уровень привносимой дефектности. Издержки производства снижаются также и за счет совмещения двух операций в реакционной камере. При оплавлении БФСС при давлении ниже 20 Па увеличивается испарение из приповерхностного слоя стекла, что может способствовать ухудшению текучести стекла при оплавлении контактов (так называемое второе оплавление)....

Накопительный конденсатор элемента памяти интегральных схем

Загрузка...

Номер патента: 2639

Опубликовано: 30.03.1999

Авторы: Красницкий Василий Яковлевич, Смаль Игорь Вацлавович, Цыбулько Игорь Александрович, Довнар Николай Александрович, Турцевич Аркадий Степанович

МПК: H01L 29/92, H01L 27/10

Метки: накопительный, интегральных, конденсатор, элемента, схем, памяти

Текст:

...3, разделительную область 4 из диэлектрического материала повторяющую рельеф первой обкладки, вторую обкладку 5 из легированного поликремния, нижняя поверхность которой повторяет рельеф первой. Работа накопительного конденсатора идентична работе типового однотранзисторного элемента памяти динамического запоминающего устройства. В техническом решении по изобретению получается канавка с несколькими проводящими перегородками, что позволяет не...

Способ осаждения пленок фосфоросиликатного стекла

Загрузка...

Номер патента: 2531

Опубликовано: 30.12.1998

Авторы: Красницкий Василий Яковлевич, Тихонов Владимир Ильич, Наливайко Олег Юрьевич, Турцевич Аркадий Степанович

МПК: H01L 21/316

Метки: пленок, фосфоросиликатного, осаждения, способ, стекла

Текст:

...определяется именно этим соотношением. Поэтому контроль за содержанием фосфора в пленке предельно облегчается. Кроме того, так как не используется фосфин, то и уровень привносимой дефектности снижается и повышается однородность осаждаемых пленок по толщине, а также реализуется процесс осаждения фосфоросиликатного стекла без использования высокотоксичного фосфина. Дополнительным преимуществом является некоторое сокращение площади, занимаемой...

Способ осаждения пленки борофосфоросиликатного стекла

Загрузка...

Номер патента: 2502

Опубликовано: 30.12.1998

Авторы: Турцевич Аркадий Степанович, Красницкий Василий Яковлевич, Аношин Валерий Михайлович, Наливайко Олег Юрьевич, Захарик Сергей Владимирович

МПК: H01L 21/316

Метки: борофосфоросиликатного, способ, стекла, пленки, осаждения

Текст:

...содержанием фосфора и бора в пленке предельно упрощается. Подача ДМФ и ТСМБ по дополнительной паре инжекторов с газом-носителем - азотом непосредственно в зону реакции позволяет подавить возможные реакции с образованием побочных продуктов, что подтвер 2 2502 1 ждается результатами эксперимента и, следовательно, повысить качество осаждаемых пленок БФСС за счет снижения уровня привносимой дефектности. При подаче ТМФ и ТСМБ по той же паре...

Способ изготовления МДП-транзистора

Загрузка...

Номер патента: 973

Опубликовано: 15.12.1995

Авторы: Смаль Игорь Вацлавович, Довнар Николай Александрович, Красницкий Василий Яковлевич

МПК: H01L 21/335

Метки: изготовления, способ, мдп-транзистора

Текст:

...примеси второго типа проводимости,создание сильнолегированньтх исток-стоковых областей отлил-ом внедрештой примеси, после внедрения в пластину по обе стороны от приставочных областей медленнодиффут-тдирующей примеси второго ттша проводимости, в пластину,в те же области внедряют быстродиффундирующую примесь того же тшта проводимости, и одновременно с созданием сильнолегированньпс исток-стоковых областей диффузией быстродиффундирующей...