Красневская Юлия Ивановна

Устройство автоматической фокусировки

Загрузка...

Номер патента: U 9932

Опубликовано: 28.02.2014

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Корнелюк Александр Иванович, Есьман Василий Михайлович, Красневская Юлия Ивановна

МПК: G03B 27/42

Метки: фокусировки, устройство, автоматической

Текст:

...фокусировки за счет снижения влияния рельефа топологических слоев на погрешность измерения положения поверхности подложек. Поставленная задача достигается тем, что устройство автоматической фокусировки,содержащее координатный стол с подложкой, объектив, осветитель устройства автоматической фокусировки, состоящий из излучателя, телескопической системы, поляризационного светоделителя и четвертьволновой пластины, дихроичный фильтр,...

Устройство автоматической фокусировки

Загрузка...

Номер патента: U 9150

Опубликовано: 30.04.2013

Авторы: Есьман Василий Михайлович, Орлова Татьяна Львовна, Красневская Юлия Ивановна, Корнелюк Александр Иванович

МПК: G03B 27/42

Метки: устройство, фокусировки, автоматической

Текст:

...при использовании устройства фокусировки в контрольно-измерительных установках или к ошибкам в изготовлении элементов топологии (уход размеров и/или их положения) при использовании устройства фокусировки в технологическом оборудовании. Описанное в прототипе устройство автоматической фокусировки обладает несколько меньшей чувствительностью к топологическому рисунку и технологическим слоям подложки по сравнению с аналогом, но его точность...

Объектив с переменным фокусным расстоянием

Загрузка...

Номер патента: 15479

Опубликовано: 28.02.2012

Авторы: Желтов Георгий Иванович, Цуран Владимир Ильич, Иваненко Владимир Афанасьевич, Аваков Сергей Мирзоевич, Красневская Юлия Ивановна, Крот Вадим Валентинович, Гуревич Элла Семеновна

МПК: G02B 15/00

Метки: расстоянием, объектив, переменным, фокусным

Текст:

...изображения, а также усложняет и увеличивает время процесса обработки изображения в приборах, где он используется. Задачей изобретения является разработка объектива с постоянным задним отрезком и масштабом изображения во всем рабочем диапазоне расстояний до плоскости предметов. Поставленная задача достигается тем, что объектив содержит последовательно установленные первый трехлинзовый компонент, первая линза которого выполнена в виде...