Корнелюк Александр Иванович

Устройство автоматической фокусировки

Загрузка...

Номер патента: U 9932

Опубликовано: 28.02.2014

Авторы: Корнелюк Александр Иванович, Красневская Юлия Ивановна, Агейченко Александр Степанович, Есьман Василий Михайлович

МПК: G03B 27/42

Метки: устройство, автоматической, фокусировки

Текст:

...фокусировки за счет снижения влияния рельефа топологических слоев на погрешность измерения положения поверхности подложек. Поставленная задача достигается тем, что устройство автоматической фокусировки,содержащее координатный стол с подложкой, объектив, осветитель устройства автоматической фокусировки, состоящий из излучателя, телескопической системы, поляризационного светоделителя и четвертьволновой пластины, дихроичный фильтр,...

Устройство автоматической фокусировки

Загрузка...

Номер патента: U 9150

Опубликовано: 30.04.2013

Авторы: Есьман Василий Михайлович, Орлова Татьяна Львовна, Красневская Юлия Ивановна, Корнелюк Александр Иванович

МПК: G03B 27/42

Метки: устройство, автоматической, фокусировки

Текст:

...при использовании устройства фокусировки в контрольно-измерительных установках или к ошибкам в изготовлении элементов топологии (уход размеров и/или их положения) при использовании устройства фокусировки в технологическом оборудовании. Описанное в прототипе устройство автоматической фокусировки обладает несколько меньшей чувствительностью к топологическому рисунку и технологическим слоям подложки по сравнению с аналогом, но его точность...

Способ аттестации координатной системы установки литографии

Загрузка...

Номер патента: 14141

Опубликовано: 30.04.2011

Авторы: Есьман Василий Михайлович, Корнелюк Александр Иванович, Пушкина Татьяна Владимировна, Борисевич Виктория Стефановна

МПК: G03F 9/00, G01B 11/03

Метки: системы, аттестации, координатной, способ, литографии, установки

Текст:

...первой пластины на координатный стол, формирование на ней знаков аттестации без коррекции координатного стола, измерение координат сформированных знаков при поворотах пластины на множество углов,расчет функции коррекции с учетом измеренных координат и ввод рассчитанной функции коррекции в систему управления координатной системой установки. После этого на координатный стол устанавливают вторую пластину, формируют на ней знаки аттестации,...

Способ контроля дефектности первичных шаблонов

Загрузка...

Номер патента: 9175

Опубликовано: 30.04.2007

Авторы: Аваков Сергей Мирзоевич, Корнелюк Александр Иванович

МПК: G06K 9/00

Метки: первичных, контроля, шаблонов, способ, дефектности

Текст:

...участка, соответствующего просканированному участку ПШ (операция 3). Формируют параметрическую модель эталонного участка ПШ (операция 4). Количество параметров модели определяется как насыщенностью топологии, так и количеством контролируемых характеристик ПШ. Формируют аналогичную параметрическую модель контролируемого участка (операция 5). Производят сравнение соответствующего параметра одной и другой модели и определяют величину разности...

Способ контроля дефектности первичных шаблонов

Загрузка...

Номер патента: 8893

Опубликовано: 28.02.2007

Авторы: Аваков Сергей Мирзоевич, Корнелюк Александр Иванович

МПК: G01N 21/00, G06K 9/00

Метки: первичных, способ, дефектности, шаблонов, контроля

Текст:

...и знаку разности определяют тип дефекта и наличие загрязненности на непрозрачных участках первичного ШаблонаИзобретение поясняется чертежом. где представлены эпюры сигналов после операцийСуть способа заключается в следующемСканируют рабочую поверхность ПШ фиг 1 а) и создают первый поток данных(фиг. 1 б). значения которых соответствуют реальному изображению каждого пиксела в проходящем свете. из проектных данных создают второй поток данных...

Устройство для бесконтактного измерения толщины пластин

Загрузка...

Номер патента: U 3298

Опубликовано: 28.02.2007

Авторы: Чухлиб Владимир Иванович, Самохвалов Валерий Константинович, Корнелюк Александр Иванович

МПК: G01B 11/06

Метки: толщины, бесконтактного, измерения, пластин, устройство

Текст:

...и повышение точности измерений толщины при наличии шероховатых поверхностей измеряемых пластин.Поставленная задача достигается тем, что устройство для бесконтактного измерения толщины пластин выполнено в виде двух идентичных детектирующих головок, подключенных к электронному блоку и расположенных по обе стороны измеряемой пластины,закрепленной в держателе, каждая из которых содержит первый объектив, оптически связанный системой зеркал с...