Копылов Андрей Владимирович

Способ получения спеченного диборида титана

Загрузка...

Номер патента: 14845

Опубликовано: 30.10.2011

Авторы: Урбанович Владимир Степанович, Копылов Андрей Владимирович

МПК: C04B 35/58, C04B 35/645

Метки: способ, титана, получения, спеченного, диборида

Текст:

...Полученный керамический материал на основе диборида титана имеет плотность 4,45 г/см 3 и твердость по Виккерсу 36,51,0 ГПа. Пример 3 Смесь порошков диборида титана с размером частиц 1,5 и 50 мкм, взятых в количестве 75 мас.мелкой фракции и 25 мас.крупной фракции, под давлением 0,8 ГПа компактируется в заготовку 255 мм путем, описанным в примере 1, которая аналогичным образом отжигается в вакууме и затем помещается во внутреннее отверстие...

Мозаичная мишень для ионно-плазменного магнетронного нанесения многокомпонентных пленочных покрытий и способ изготовления мишени

Загрузка...

Номер патента: 13826

Опубликовано: 30.12.2010

Авторы: Агеев Виталий Александрович, Вершина Алексей Константинович, Копылов Андрей Владимирович

МПК: C23C 14/35, H01J 23/00

Метки: многокомпонентных, пленочных, магнетронного, мишени, ионно-плазменного, способ, покрытий, нанесения, изготовления, мишень, мозаичная

Текст:

...уровнем напряженности магнитного поля. Поставленная задача решается тем, что в мозаичной мишени для ионно-плазменного магнетронного нанесения многокомпонентных пленочных покрытий, содержащей плоскую матрицу, закрепленную на охлаждаемом основании, и размещенные на матрице в зоне эрозии мишени равномерно вдоль проекции силовых линий магнитного поля вставки, выполненные в виде концентрических колец или прямоугольных рамок из напыляемых...

Катод для магнетронного нанесения многокомпонентных покрытий

Загрузка...

Номер патента: U 5501

Опубликовано: 30.08.2009

Авторы: Копылов Андрей Владимирович, Агеев Виталий Александрович, Вершина Алексей Константинович

МПК: H01J 23/02, C23C 14/35

Метки: магнетронного, нанесения, катод, многокомпонентных, покрытий

Текст:

...(коэффициентов распыления) со значением напряженности магнитного поля на поверхности катода, что достигается размещением вставок из разнородных материалов в зоне эрозии матрицы в областях с различным уровнем напряженности магнитного поля. Поставленная задача решается за счет того, что в катоде для магнетронного нанесения многокомпонентных покрытий, состоящем из выполненной в виде диска или прямоугольной пластины плоской матрицы,...