Комаров Фадей Фадеевич

Устройство для контроля толщины наносимого вакуумного покрытия

Загрузка...

Номер патента: U 8619

Опубликовано: 30.10.2012

Авторы: Комаров Фадей Фадеевич, Пилько Владимир Владимирович

МПК: G01B 7/06, B81C 1/00

Метки: покрытия, контроля, наносимого, устройство, толщины, вакуумного

Текст:

...пластины и сопротивление переменного резистора пропорциональны толщине наносимого вакуумного покрытия. В результате применения устройства становится возможным контроль толщины вакуумных покрытий от 0,1 до 5 мкм. Сущность полезной модели поясняется фигурой. Устройство включает рабочую камеру 1 с герметичным разъемом 2, размещенные в камере источник осаждаемого материала 3, источник света 4, экран из непрозрачного материала с отверстием 5,...

Способ осаждения тонких пленок SiGe

Загрузка...

Номер патента: 15299

Опубликовано: 30.12.2011

Авторы: Комаров Фадей Фадеевич, Солодуха Виталий Александрович, Турцевич Аркадий Степанович, Пшеничный Евгений Николаевич, Наливайко Олег Юрьевич, Лепешкевич Геннадий Вольдемарович

МПК: C23C 16/30, H01L 21/205

Метки: пленок, тонких, осаждения, способ

Текст:

...осаждения, с другой стороны, с уменьшением температуры возрастает содержаниев пленкахпри одинаковых концентрациях моногермана в газовой фазе. При температурах ниже 560 скорость осаждения пленок нелегированного кремния при пониженном давлении становится менее 2,0 нм/мин, что позволяет увеличить длительность осаждения пленок толщиной 25 нм до 12 минут, что способствует повышению управляемости и воспроизводимости процесса осаждения по толщине и...

Способ изготовления диода Шоттки

Загрузка...

Номер патента: 14452

Опубликовано: 30.06.2011

Авторы: Турцевич Аркадий Степанович, Мильчанин Олег Владимирович, Комаров Фадей Фадеевич, Довнар Николай Александрович, Кузик Сергей Владимирович, Соловьев Ярослав Александрович, Глухманчук Владимир Владимирович, Солодуха Виталий Александрович

МПК: H01L 29/66, H01L 21/02

Метки: способ, изготовления, диода, шоттки

Текст:

...платины, снижает процент выхода годных диодов. Увеличение содержания никеля в барьерном слое более 86,0 мас.приводит к уменьшению содержания платины и ванадия, увеличению магнитных свойств сплава, ухудшению качества наносимых слоев и контактных свойств силицида, снижению процента выхода годных. Содержание ванадия в барьерном слое менее 4 мас.не обеспечивает создания немагнитного многокомпонентного слоя, увеличения процента выхода...

Устройство для сжатия пластин

Загрузка...

Номер патента: U 7034

Опубликовано: 28.02.2011

Авторы: Пилько Владимир Владимирович, Комаров Фадей Фадеевич, Малышев Виктор Степанович

МПК: B32B 37/10

Метки: пластин, сжатия, устройство

Текст:

...пластин,отличающихся от идеальной плоскости на величину, равную пределу упругой деформации материала пластины, возрастает площадь соприкосновения соединяемых поверхностей, исключается наличие в зазоре между пластинами замкнутых прослоек газов и жидкостей. Сущность полезной модели поясняется чертежом. Устройство включает рабочую камеру 1 с размещенным в ней подогреваемым столом 2, герметичную крышку 3 с упругой термостойкой...

Устройство для измерения энергетических распределений ионов в пучках сильноточных ускорителей средних энергий

Загрузка...

Номер патента: U 5640

Опубликовано: 30.10.2009

Авторы: Комаров Фадей Фадеевич, Лагутин Андрей Евгеньевич, Камышан Александр Степанович

МПК: H01J 49/00

Метки: пучках, измерения, распределений, ускорителей, устройство, сильноточных, средних, энергий, ионов, энергетических

Текст:

...ядрами мишени, который определяет регистрируемую энергию ионов, и сечение рассеяния или вероятность столкновения, определяющее чувствительность метода. Для исследуемого диапазона энергий от 100 до 500 кэВ справедливы соотношения, описывающие упругое столкновение двух твердых сфер различной массы. Отношение энергий анализирующего иона после и до столкновения 1/0, называемое кинематическим фактором рассеяния, зависит только от соотношения масс...

Устройство для соединения пластин

Загрузка...

Номер патента: U 5197

Опубликовано: 30.04.2009

Авторы: Пилько Владимир Владимирович, Комаров Фадей Фадеевич, Мильчанин Олег Владимирович

МПК: B32B 37/00

Метки: пластин, соединения, устройство

Текст:

...и шлюза включает жидкость, а давление в рабочей камере равно атмосферному. Технический результат достигается за счет того, что жидкость служит сорбирующим пыль веществом в рабочей камере и шлюзе. Одновременно жидкость служит защитой от проникновения пыли через шлюз в камеру и смывает с поверхности пластин пылевидные и иные загрязнения. Наличие в рабочей камере атмосферного давления приводит к отсутствию перепада давлений между внутренним...

Устройство для формирования направленного пучка рентгеновского излучения

Загрузка...

Номер патента: 3662

Опубликовано: 30.12.2000

Авторы: Кольчевский Николай Николаевич, Комаров Фадей Фадеевич, Дудчик Юрий Иванович

МПК: H01J 35/00

Метки: пучка, направленного, рентгеновского, формирования, излучения, устройство

Текст:

...в виде усеченного конуса, основание которого с большим радиусом отверстия направлено в сторону от мишени, длина капиллярного элементаи радиусы его входного 1 и выходного 2 отверстий выбраны из соотношения 2-1)/),где- критический угол полного внешнего отражения. На рисунке показана структурная схема устройства для получения направленного пучка рентгеновского излучения и траектории рентгеновских лучей, распространяющихся в канале...