Карпович Дмитрий Викторович

Способ регенерации раствора ортофосфорной кислоты

Загрузка...

Номер патента: 14499

Опубликовано: 30.06.2011

Авторы: Вечер Дмитрий Вячеславович, Кисель Анатолий Михайлович, Плебанович Владимир Иванович, Иванчиков Александр Эдуардович, Карпович Дмитрий Викторович, Медведева Анна Борисовна

МПК: C23F 1/46

Метки: регенерации, способ, раствора, кислоты, ортофосфорной

Текст:

...Регенерация раствора ортофосфорной кислоты выполнялась путем периодической подачи воды в отработанный раствор, охлажденный до температуры (905) С и непрерывно циркулирующий в течение 2-2,5 ч. Затем производился нагрев восстановленного раствора 34 до температуры (1605) С и выполнялся процесс травления пленки нитрида кремния. Результаты представлены в табл. 3. Пример 4. Для проведения регенерации по заявляемому способу был выбран...