Иванов Василий Алексеевич

Способ получения солнечных элементов на основе тонкопленочной структуры CdS/SnS

Загрузка...

Номер патента: 15451

Опубликовано: 28.02.2012

Авторы: Башкиров Семен Александрович, Гременок Валерий Феликсович, Иванов Василий Алексеевич, Унучек Денис Николаевич

МПК: C23C 28/00, C30B 29/46, H01L 31/18...

Метки: основе, получения, элементов, структуры, солнечных, способ, тонкопленочной

Текст:

...стекла,имеющей температуру 59010 С, химически осаждают на полученный слойслой, на который затем последовательно методом магнетронного распыления наносят высокоомный и низкоомный слоии алюминиевый контакт. Сущность изобретения заключается в том, что слоинаносят методом горячей стенки при давлении 10-6 мбар, температуре стенок 59010 С и температуре подложки 280-300 С в течение 15-30 мин, а также в использовании двух слоеви алюминиевого...

Способ получения тонкой пленки соединения Cu(InxZn1-x)(SeyS1-у)2

Загрузка...

Номер патента: 11399

Опубликовано: 30.12.2008

Авторы: Гременок Валерий Феликсович, Иванов Василий Алексеевич, Залесский Валерий Борисович

МПК: H01L 31/18

Метки: получения, соединения, тонкой, cu(inxzn1-x)(seys1-у)2, пленки, способ

Текст:

...методами вакуумного напыления (термическим, ионно-плазменным и т.п.) элементов базового слоя халькогениды цинка и пленки металлов (С, ) - с требуемым для синтезируемого соединения атомным соотношением отжиг полученной структуры в парах селена и серы (селенизация-сульфидизация) при атмосферном давлении в потоке азота 2 в реакторной системе. Выбор температурного интервала обусловлен следующими факторами при температуре 250 С происходит...