H01L 3/00 — H01L 3/00

Ионный источник

Загрузка...

Номер патента: 13847

Опубликовано: 30.12.2010

Авторы: Новицкий Николай Николаевич, Стогний Александр Иванович, Труханов Алексей Валентинович, Пашкевич Михаил Викторович

МПК: H01J 27/00, H01J 27/02, H01L 3/00...

Метки: ионный, источник

Текст:

...7, изолятор 8 между анодом 1 и фланцем 9 и изолятор 10 между дополнительным электродом 7 и фланцем 9. Со стороны анода 1 полый катод 2 закрыт фланцем 9 с осевым контрагирующим отверстием (на чертеже не показано), в которое введен анод 1. Внутри полого катода 2 расположена осесимметричная внутренняя магнитная система 11, снабженная корпусом 12. Внешняя магнитная система 5 и дополнительная магнитная система 6 ориентированы одноименными...