H01L 21/77 — изготовление или обработка приборов, состоящих из нескольких твердотельных компонентов или интегральных схем, сформированных на общей подложке или внутри нее

Способ изготовления кремниевой интегральной микросхемы

Загрузка...

Номер патента: 18136

Опубликовано: 30.04.2014

Авторы: Турцевич Аркадий Степанович, Малый Игорь Васильевич, Наливайко Олег Юрьевич, Солодуха Виталий Александрович, Ефименко Сергей Афанасьевич, Шикуло Владимир Евгеньевич

МПК: H01L 21/77, H01L 27/04

Метки: изготовления, кремниевой, микросхемы, интегральной, способ

Текст:

...при низкой температуре (450 С). Для достижения требуемого результата отжиг может повторяться несколько раз, что приводит к увеличению цикла изготовления интегральной микросхемы. 3 18136 1 2014.04.30 В основу изобретения положено решение задачи повышения коэффициента усиления горизонтального транзистора на малых токах, повышения стабильности электрических параметров и увеличения процента выхода годных микросхем. Сущность изобретения заключается...