H01L 21/336 — с изолированным затвором

Способ формирования нанокристаллов германия Ge для энергонезависимой памяти

Загрузка...

Номер патента: 17081

Опубликовано: 30.04.2013

Авторы: Гайдук Петр Иванович, Новиков Андрей Геннадьевич, Пшеничный Евгений Николаевич, Наливайко Олег Юрьевич, Турцевич Аркадий Степанович, Солодуха Виталий Александрович

МПК: H01L 21/44, H01L 21/336

Метки: нанокристаллов, способ, формирования, памяти, германия, энергонезависимой

Текст:

...объясняется следующим образом. Ограничивающим фактором при производстве приборов с плавающим затвором из массива нанокристаллов является управление плотностью, размерами, площадью покрытия и однородностью нанокристаллов в пределах структуры плавающего затвора. Для оп 3 17081 1 2013.04.30 тимальной работы прибора желательно иметь плотность нанокристаллов 51010-1012 см-2,при этом средний размер нанокристаллов должен составлять 5-20 нм...

Способ изготовления КМОП-структур

Загрузка...

Номер патента: 235

Опубликовано: 30.12.1994

Авторы: Плащинский Г. И., Саньков И. В., Сидоренко Е. Б., Нагорный А. А.

МПК: H01L 21/336

Метки: способ, кмоп-структур, изготовления

Текст:

...ворах с последующей промывкой в деион 12 3 атвдра 7 ннзованной воде и сушкой подложкиП Р И Н В Р 1 После форМнроВа центрифугированием,.формровали поддня 5 накасдВмещенд прдйздодидир т затворный диэлектрик методом термихимнчесКУю обработку подложки после 20 екг Окисденин подложки ПРИ 1 О 00 бС довательно в перекисно-серпом и пе В течение 15 Мин В атмосфере ВдаЖ рекнснотамачном растворах с после- нгкНСлрда ТлщиНй 0512 МКМ- ПРИ дующей промышкой...