H01L 21/336 — с изолированным затвором

Способ формирования нанокристаллов германия Ge для энергонезависимой памяти

Загрузка...

Номер патента: 17081

Опубликовано: 30.04.2013

Авторы: Турцевич Аркадий Степанович, Пшеничный Евгений Николаевич, Солодуха Виталий Александрович, Гайдук Петр Иванович, Наливайко Олег Юрьевич, Новиков Андрей Геннадьевич

МПК: H01L 21/336, H01L 21/44

Метки: памяти, энергонезависимой, формирования, нанокристаллов, способ, германия

Текст:

...объясняется следующим образом. Ограничивающим фактором при производстве приборов с плавающим затвором из массива нанокристаллов является управление плотностью, размерами, площадью покрытия и однородностью нанокристаллов в пределах структуры плавающего затвора. Для оп 3 17081 1 2013.04.30 тимальной работы прибора желательно иметь плотность нанокристаллов 51010-1012 см-2,при этом средний размер нанокристаллов должен составлять 5-20 нм...

Способ изготовления КМОП-структур

Загрузка...

Номер патента: 235

Опубликовано: 30.12.1994

Авторы: Нагорный А. А., Сидоренко Е. Б., Плащинский Г. И., Саньков И. В.

МПК: H01L 21/336

Метки: изготовления, способ, кмоп-структур

Текст:

...ворах с последующей промывкой в деион 12 3 атвдра 7 ннзованной воде и сушкой подложкиП Р И Н В Р 1 После форМнроВа центрифугированием,.формровали поддня 5 накасдВмещенд прдйздодидир т затворный диэлектрик методом термихимнчесКУю обработку подложки после 20 екг Окисденин подложки ПРИ 1 О 00 бС довательно в перекисно-серпом и пе В течение 15 Мин В атмосфере ВдаЖ рекнснотамачном растворах с после- нгкНСлрда ТлщиНй 0512 МКМ- ПРИ дующей промышкой...