H01L 21/225 — диффузия из твердой фазы в твердую фазу или обратно, например легирование оксидного слоя

Пленкообразующая композиция для получения твердых источников бора при изготовлении полупроводниковых приборов

Загрузка...

Номер патента: 9140

Опубликовано: 30.04.2007

Авторы: Турцевич Аркадий Степанович, Ануфриев Леонид Петрович, Шильцев Владимир Викторович, Мойсейчук Константин Леонидович, Бересневич Людмила Брониславовна

МПК: H01L 21/225

Метки: бора, твердых, пленкообразующая, получения, полупроводниковых, композиция, приборов, источников, изготовлении

Текст:

...следующим образом.В качестве растворителя избран н-бутиловый спирт, поскольку в нем легко растворим ТЭОС и образующиеся олигополимеры (продукты неполного гидролиза ТЭОС), а также вода. Кроме того, он менее летуч и обладает большой вязкостью, чем обычно применяемые в пленкообразующих композициях растворители (этиловый спирт).При содержании ТЭОС в композиции менее 25 мас. происходит быстрое осаждение взвешенного оксида бора за счет...