H01J 37/34 — работающие с катодным распылением

Способ получения распыляемых мишеней для осаждения тонких пленок

Загрузка...

Номер патента: 4682

Опубликовано: 30.09.2002

Авторы: Колешко Владимир Михайлович, Гулай Анатолий Владимирович, Полынкова Елена Владимировна, Шевченок Александр Аркадьевич

МПК: C23C 14/34, H01J 37/32, H01J 37/34...

Метки: пленок, получения, способ, распыляемых, осаждения, мишеней, тонких

Текст:

...кроме этого образуют соединения состава 23 и . Получение мишеней в соответствии с заявляемым способом осуществляется следующим образом. Из медного листа вырезают пластины необходимого размера, служащие теплоотводящим основанием для графитовой мишени (фиг. 1). Затем на пластины наносят гранулы из материала на основе меди (фиг. 2). Диаметр гранул может быть равен 0,2-0,8 мм, толщина слоя гранул 1 мм. Полученная композиция подвергается...