H01J 37/34 — работающие с катодным распылением

Способ получения распыляемых мишеней для осаждения тонких пленок

Загрузка...

Номер патента: 4682

Опубликовано: 30.09.2002

Авторы: Гулай Анатолий Владимирович, Полынкова Елена Владимировна, Колешко Владимир Михайлович, Шевченок Александр Аркадьевич

МПК: C23C 14/34, H01J 37/34, H01J 37/32...

Метки: мишеней, пленок, способ, получения, тонких, осаждения, распыляемых

Текст:

...кроме этого образуют соединения состава 23 и . Получение мишеней в соответствии с заявляемым способом осуществляется следующим образом. Из медного листа вырезают пластины необходимого размера, служащие теплоотводящим основанием для графитовой мишени (фиг. 1). Затем на пластины наносят гранулы из материала на основе меди (фиг. 2). Диаметр гранул может быть равен 0,2-0,8 мм, толщина слоя гранул 1 мм. Полученная композиция подвергается...