H01J 37/34 — работающие с катодным распылением

Способ получения распыляемых мишеней для осаждения тонких пленок

Загрузка...

Номер патента: 4682

Опубликовано: 30.09.2002

Авторы: Колешко Владимир Михайлович, Полынкова Елена Владимировна, Шевченок Александр Аркадьевич, Гулай Анатолий Владимирович

МПК: C23C 14/34, H01J 37/34, H01J 37/32...

Метки: тонких, пленок, распыляемых, получения, мишеней, способ, осаждения

Текст:

...кроме этого образуют соединения состава 23 и . Получение мишеней в соответствии с заявляемым способом осуществляется следующим образом. Из медного листа вырезают пластины необходимого размера, служащие теплоотводящим основанием для графитовой мишени (фиг. 1). Затем на пластины наносят гранулы из материала на основе меди (фиг. 2). Диаметр гранул может быть равен 0,2-0,8 мм, толщина слоя гранул 1 мм. Полученная композиция подвергается...