H01J 23/00 — Конструктивные элементы приборов с использованием времени пролета электронов, отнесенных к группе

Мозаичная мишень для ионно-плазменного магнетронного нанесения многокомпонентных пленочных покрытий и способ изготовления мишени

Загрузка...

Номер патента: 13826

Опубликовано: 30.12.2010

Авторы: Вершина Алексей Константинович, Агеев Виталий Александрович, Копылов Андрей Владимирович

МПК: C23C 14/35, H01J 23/00

Метки: мишени, пленочных, мишень, способ, ионно-плазменного, изготовления, нанесения, многокомпонентных, мозаичная, покрытий, магнетронного

Текст:

...уровнем напряженности магнитного поля. Поставленная задача решается тем, что в мозаичной мишени для ионно-плазменного магнетронного нанесения многокомпонентных пленочных покрытий, содержащей плоскую матрицу, закрепленную на охлаждаемом основании, и размещенные на матрице в зоне эрозии мишени равномерно вдоль проекции силовых линий магнитного поля вставки, выполненные в виде концентрических колец или прямоугольных рамок из напыляемых...