H01J 23/00 — Конструктивные элементы приборов с использованием времени пролета электронов, отнесенных к группе

Мозаичная мишень для ионно-плазменного магнетронного нанесения многокомпонентных пленочных покрытий и способ изготовления мишени

Загрузка...

Номер патента: 13826

Опубликовано: 30.12.2010

Авторы: Агеев Виталий Александрович, Вершина Алексей Константинович, Копылов Андрей Владимирович

МПК: H01J 23/00, C23C 14/35

Метки: магнетронного, покрытий, мишени, многокомпонентных, мишень, способ, мозаичная, нанесения, ионно-плазменного, изготовления, пленочных

Текст:

...уровнем напряженности магнитного поля. Поставленная задача решается тем, что в мозаичной мишени для ионно-плазменного магнетронного нанесения многокомпонентных пленочных покрытий, содержащей плоскую матрицу, закрепленную на охлаждаемом основании, и размещенные на матрице в зоне эрозии мишени равномерно вдоль проекции силовых линий магнитного поля вставки, выполненные в виде концентрических колец или прямоугольных рамок из напыляемых...