H01G 7/06 — с диэлектриком, диэлектрическая проницаемость которого зависит от приложенного напряжения, т.е. сегнетоэлектрические конденсаторы

Способ получения тонких пленок для конденсаторных структур

Загрузка...

Номер патента: 18396

Опубликовано: 30.08.2014

Авторы: Завадский Сергей Михайлович, Голосов Дмитрий Анатольевич, Каланда Николай Александрович, Гурский Леонид Ильич

МПК: C23C 14/08, C23C 14/28, H01G 7/06...

Метки: структур, пленок, конденсаторных, получения, тонких, способ

Текст:

...контроля над процессом получения однородных и однофазных пленок 0,540,463 для улучшения их сегнетоэлектрических и структурных ха 2 18396 1 2014.08.30 рактеристик, оптимизация режимов напыления тонких пленок цирконата титаната свинца с целью получения их воспроизводимых физико-химических свойств. Поставленная задача решается за счет того, что при получении тонкой пленки цирконата титаната свинца первоначально изготавливают мишень, а затем...