Гулай Анатолий Владимирович

Способ получения распыляемой мишени для осаждения тонких пленок

Загрузка...

Номер патента: 10821

Опубликовано: 30.06.2008

Авторы: Ильющенко Александр Федорович, Гулай Анатолий Владимирович, Шевченок Александр Аркадьевич, Барай Сергей Георгиевич

МПК: B22F 3/08, H01L 21/00

Метки: распыляемой, мишени, получения, способ, осаждения, тонких, пленок

Текст:

...свежего порошка во вторичный позволяет довести параметры материала шихты практически до уровня параметров первичного материала, а также получить качество последующих технологических операций на том же уровне, что и при использовании только первичного порошка. После этого производят активирование шихты путем ее обработки в ультразвуковой ванне в дистиллированной воде или этиловом спирте с последующей сушкой в сушильном шкафу. Затем...

Способ получения распыляемых мишеней для осаждения тонких пленок

Загрузка...

Номер патента: 4682

Опубликовано: 30.09.2002

Авторы: Полынкова Елена Владимировна, Колешко Владимир Михайлович, Шевченок Александр Аркадьевич, Гулай Анатолий Владимирович

МПК: H01J 37/32, C23C 14/34, H01J 37/34...

Метки: получения, способ, распыляемых, пленок, мишеней, тонких, осаждения

Текст:

...кроме этого образуют соединения состава 23 и . Получение мишеней в соответствии с заявляемым способом осуществляется следующим образом. Из медного листа вырезают пластины необходимого размера, служащие теплоотводящим основанием для графитовой мишени (фиг. 1). Затем на пластины наносят гранулы из материала на основе меди (фиг. 2). Диаметр гранул может быть равен 0,2-0,8 мм, толщина слоя гранул 1 мм. Полученная композиция подвергается...