Гулай Анатолий Владимирович

Способ получения распыляемой мишени для осаждения тонких пленок

Загрузка...

Номер патента: 10821

Опубликовано: 30.06.2008

Авторы: Гулай Анатолий Владимирович, Барай Сергей Георгиевич, Ильющенко Александр Федорович, Шевченок Александр Аркадьевич

МПК: H01L 21/00, B22F 3/08

Метки: способ, тонких, распыляемой, пленок, осаждения, мишени, получения

Текст:

...свежего порошка во вторичный позволяет довести параметры материала шихты практически до уровня параметров первичного материала, а также получить качество последующих технологических операций на том же уровне, что и при использовании только первичного порошка. После этого производят активирование шихты путем ее обработки в ультразвуковой ванне в дистиллированной воде или этиловом спирте с последующей сушкой в сушильном шкафу. Затем...

Способ получения распыляемых мишеней для осаждения тонких пленок

Загрузка...

Номер патента: 4682

Опубликовано: 30.09.2002

Авторы: Полынкова Елена Владимировна, Гулай Анатолий Владимирович, Шевченок Александр Аркадьевич, Колешко Владимир Михайлович

МПК: H01J 37/32, C23C 14/34, H01J 37/34...

Метки: получения, мишеней, способ, тонких, распыляемых, пленок, осаждения

Текст:

...кроме этого образуют соединения состава 23 и . Получение мишеней в соответствии с заявляемым способом осуществляется следующим образом. Из медного листа вырезают пластины необходимого размера, служащие теплоотводящим основанием для графитовой мишени (фиг. 1). Затем на пластины наносят гранулы из материала на основе меди (фиг. 2). Диаметр гранул может быть равен 0,2-0,8 мм, толщина слоя гранул 1 мм. Полученная композиция подвергается...