Гранько Владимир Ильич

Состав для очистки поверхности полупроводниковых пластин

Загрузка...

Номер патента: 5639

Опубликовано: 30.12.2003

Авторы: Иванчиков Александр Эдуардович, Сугакова Татьяна Евгеньевна, Медведева Анна Борисовна, Гранько Владимир Ильич, Емельянов Виктор Андреевич, Кисель Анатолий Михайлович

МПК: H01L 21/306

Метки: полупроводниковых, поверхности, очистки, состав, пластин

Текст:

...тому, что содержит кислородный гетероцикл фиксированных размеров, избирательно захватывающий ионы щелочных и щелочноземельных металлов. Пропанол-2 (изопропиловый спирт, ИПС) - материал квалификации ос.ч., производится на соответствие ГОСТ 9805-84. Химическая формула СН 3-СН(ОН)-СН 3. Это бесцветная прозрачная жидкость. Хорошо растворяется в воде. Относится к классу спиртов и к группе неионогенных поверхностно активных веществ. Умеренно...

Способ отделения масел из газовой смеси и устройство для его осуществления

Загрузка...

Номер патента: 3901

Опубликовано: 30.06.2001

Авторы: Родин Георгий Федорович, Емельянов Виктор Андреевич, Иванов Леонид Федорович, Гракович Петр Николаевич, Красовский Анатолий Михайлович, Рябченко Игорь Леонидович, Гранько Владимир Ильич

МПК: B01D 46/24

Метки: осуществления, масел, смеси, газовой, отделения, устройство, способ

Текст:

...решетка размещена над бункером, а верхняя установлена с возможностью вертикального перемещения 7. Хотя в данном устройстве реализован возврат масла в вакуумный насос, в связи с неизбежным изменением механических параметров пористого фильтрующего элемента в ходе работы его улавливающая способность изменяется, например после длительных пауз или при загрязнении объема фильтра твердыми частицами. Наличие подвижных элементов снижает надежность...