Гранько Владимир Ильич

Состав для очистки поверхности полупроводниковых пластин

Загрузка...

Номер патента: 5639

Опубликовано: 30.12.2003

Авторы: Сугакова Татьяна Евгеньевна, Емельянов Виктор Андреевич, Гранько Владимир Ильич, Кисель Анатолий Михайлович, Медведева Анна Борисовна, Иванчиков Александр Эдуардович

МПК: H01L 21/306

Метки: пластин, очистки, состав, поверхности, полупроводниковых

Текст:

...тому, что содержит кислородный гетероцикл фиксированных размеров, избирательно захватывающий ионы щелочных и щелочноземельных металлов. Пропанол-2 (изопропиловый спирт, ИПС) - материал квалификации ос.ч., производится на соответствие ГОСТ 9805-84. Химическая формула СН 3-СН(ОН)-СН 3. Это бесцветная прозрачная жидкость. Хорошо растворяется в воде. Относится к классу спиртов и к группе неионогенных поверхностно активных веществ. Умеренно...

Способ отделения масел из газовой смеси и устройство для его осуществления

Загрузка...

Номер патента: 3901

Опубликовано: 30.06.2001

Авторы: Гракович Петр Николаевич, Красовский Анатолий Михайлович, Иванов Леонид Федорович, Емельянов Виктор Андреевич, Рябченко Игорь Леонидович, Гранько Владимир Ильич, Родин Георгий Федорович

МПК: B01D 46/24

Метки: отделения, смеси, устройство, газовой, осуществления, масел, способ

Текст:

...решетка размещена над бункером, а верхняя установлена с возможностью вертикального перемещения 7. Хотя в данном устройстве реализован возврат масла в вакуумный насос, в связи с неизбежным изменением механических параметров пористого фильтрующего элемента в ходе работы его улавливающая способность изменяется, например после длительных пауз или при загрязнении объема фильтра твердыми частицами. Наличие подвижных элементов снижает надежность...