Голосов Дмитрий Анатольевич

Способ получения тонких пленок для конденсаторных структур

Загрузка...

Номер патента: 18396

Опубликовано: 30.08.2014

Авторы: Каланда Николай Александрович, Гурский Леонид Ильич, Завадский Сергей Михайлович, Голосов Дмитрий Анатольевич

МПК: C23C 14/08, H01G 7/06, C23C 14/28...

Метки: получения, конденсаторных, структур, тонких, способ, пленок

Текст:

...контроля над процессом получения однородных и однофазных пленок 0,540,463 для улучшения их сегнетоэлектрических и структурных ха 2 18396 1 2014.08.30 рактеристик, оптимизация режимов напыления тонких пленок цирконата титаната свинца с целью получения их воспроизводимых физико-химических свойств. Поставленная задача решается за счет того, что при получении тонкой пленки цирконата титаната свинца первоначально изготавливают мишень, а затем...

Способ получения мишени цирконата-титаната свинца

Загрузка...

Номер патента: 17308

Опубликовано: 30.06.2013

Авторы: Каланда Николай Александрович, Завадский Сергей Михайлович, Голосов Дмитрий Анатольевич, Гурский Леонид Ильич

МПК: H01L 41/24, C23C 14/08, C04B 35/491...

Метки: цирконата-титаната, способ, получения, свинца, мишени

Текст:

...условиях контроля над содержанием свинца и кислорода в структуре 0,540,463, в воспроизводимости физико-химических свойств мишени, в использовании мелкодисперсных прекурсоров для избежания кинетических трудностей при фазообразовании, увеличения плотности и равномерного распределения пористости по объему мишени и управления, а также в упрощении технологического оборудования и уменьшения экономических затрат. Пример выполнения способа получения...

Способ получения тонкой пленки феррита стронция SrFeO3-(

Загрузка...

Номер патента: 13505

Опубликовано: 30.08.2010

Авторы: Каланда Николай Александрович, Гурский Леонид Ильич, Голосов Дмитрий Анатольевич

МПК: H01F 41/14

Метки: srfeo3, способ, тонкой, получения, стронция, феррита, пленки

Текст:

...кристаллизации пленки от парциального давления инертных газов, при которых осуществляется напыление пленки. Задачей настоящего изобретения является упрощение и удешевление способа получения тонких пленок феррита стронция, обеспечение возможности проведения синтеза в условиях контроля процесса получения пленок 3-, улучшения их магнитных, магниторезистивных характеристик, уменьшение экономических затрат (отсутствие дополнительного отжига) и...

Установка для нанесения многослойных тонкопленочных покрытий на внутреннюю поверхность крупноформатных цилиндрических объектов ионно-плазменными методами

Загрузка...

Номер патента: U 2737

Опубликовано: 30.06.2006

Авторы: Достанко Анатолий Павлович, Свадковский Игорь Витальевич, Голосов Дмитрий Анатольевич, Завадский Сергей Михайлович

МПК: C23C 14/00

Метки: цилиндрических, методами, поверхность, внутреннюю, ионно-плазменными, покрытий, многослойных, нанесения, установка, тонкопленочных, крупноформатных, объектов

Текст:

...ионную очистку, нанесение слоев методами магнетронного распыления, реактивного магнетронного распыления, непосредственного нанесения из ионного пучка и получать многослойные тонкопленочные структуры на крупноформатные подложки в едином вакуумном цикле, в том числе на внутреннюю поверхность цилиндрических объектов. На фиг. 1 показано схематичное изображение установки для нанесения многослойных тонкопленочных покрытий на внутреннюю...

Установка для нанесения многослойных тонкопленочных покрытий методом магнетронного распыления

Загрузка...

Номер патента: U 918

Опубликовано: 30.06.2003

Авторы: Завадский Сергей Михайлович, Свадковский Игорь Витальевич, Голосов Дмитрий Анатольевич, Достанко Анатолий Павлович

МПК: C23C 14/34

Метки: тонкопленочных, нанесения, распыления, многослойных, методом, установка, магнетронного, покрытий

Текст:

...система расположена с внутренней стороны фланца, а ионный источник - с внешней стороны фланца. Это позволяет обеспечить нанесение тонкопленочных структур с заданной однородностью свойств по поверхности подложки при ограниченных габаритах фланцев Ионный источник включается перед нанесением очередного слоя и обеспечивает стимуляцию разряда магнетрона, что позволяет добиться одновременного функционирования магнетронной...