G05D 23/00 — Регулирование температуры

Способ травления пленки диоксида кремния при аэрозольной химической очистке полупроводниковых пластин

Загрузка...

Номер патента: 17333

Опубликовано: 30.08.2013

Авторы: Турцевич Аркадий Степанович, Медведева Анна Борисовна, Кисель Анатолий Михайлович

МПК: G05D 23/00, H01L 21/02, B08B 3/02...

Метки: очистке, химической, аэрозольной, кремния, диоксида, полупроводниковых, способ, пластин, пленки, травления

Текст:

...с прототипом показывает, что заявляемый способ отличается от известного тем, что перед травлением выполняют термостабилизацию поверхности пластин путем подачи деионизованной воды комнатной температуры в течение 3-7 мин при вращении пластин со скоростью 20-200 об./мин и сброса воды с пластин при вращении со скоростью 350-450 об./мин в течение 10-25 с. Использование идентичной или сходной совокупности отличительных признаков для решения...

Система водяного отопления помещений дома

Загрузка...

Номер патента: 14759

Опубликовано: 30.08.2011

Автор: Синяков Анатолий Леонидович

МПК: F24D 10/00, G05D 23/00

Метки: дома, отопления, система, водяного, помещений

Текст:

...напротив указателя настройки. Изменением режимов работы системы в течение суток достигается значительная экономия тепловой энергии на отопление помещений дома. Недостатком этой системы водяного отопления помещений дома является сложность ее эксплуатации. Сложность эксплуатации обусловлена необходимостью вовремя изменить вручную режимы работы системы в течение суток путем установки соответствующего знака на крышке термочувствительного...

Устройство подачи паров жидкого вещества в реактор установки химического осаждения из газовой фазы

Загрузка...

Номер патента: 11859

Опубликовано: 30.04.2009

Авторы: Наливайко Олег Юрьевич, Плебанович Владимир Иванович, Пшеничный Евгений Николаевич, Сидерко Александр Александрович

МПК: G05D 23/00, B01F 03/04, F24H 9/02...

Метки: фазы, вещества, реактор, устройство, газовой, жидкого, установки, подачи, паров, химического, осаждения

Текст:

...использование резервуара меньшей емкости (например, 5 литров или менее). Использование обогреваемого трубопровода для подачи паров жидкого вещества в реактор технологической установки позволяет исключить конденсацию паров и засорение трубопровода. Для исключения конденсации паров внутри трубопровода необходимо обеспечить нагрев трубопровода до температуры на 2-5 С выше температуры паров жидкого вещества. Использование измерителя потока паров...