G05D 23/00 — Регулирование температуры

Способ травления пленки диоксида кремния при аэрозольной химической очистке полупроводниковых пластин

Загрузка...

Номер патента: 17333

Опубликовано: 30.08.2013

Авторы: Медведева Анна Борисовна, Турцевич Аркадий Степанович, Кисель Анатолий Михайлович

МПК: G05D 23/00, H01L 21/02, B08B 3/02...

Метки: аэрозольной, пленки, травления, способ, диоксида, кремния, очистке, полупроводниковых, пластин, химической

Текст:

...с прототипом показывает, что заявляемый способ отличается от известного тем, что перед травлением выполняют термостабилизацию поверхности пластин путем подачи деионизованной воды комнатной температуры в течение 3-7 мин при вращении пластин со скоростью 20-200 об./мин и сброса воды с пластин при вращении со скоростью 350-450 об./мин в течение 10-25 с. Использование идентичной или сходной совокупности отличительных признаков для решения...

Система водяного отопления помещений дома

Загрузка...

Номер патента: 14759

Опубликовано: 30.08.2011

Автор: Синяков Анатолий Леонидович

МПК: G05D 23/00, F24D 10/00

Метки: дома, помещений, водяного, отопления, система

Текст:

...напротив указателя настройки. Изменением режимов работы системы в течение суток достигается значительная экономия тепловой энергии на отопление помещений дома. Недостатком этой системы водяного отопления помещений дома является сложность ее эксплуатации. Сложность эксплуатации обусловлена необходимостью вовремя изменить вручную режимы работы системы в течение суток путем установки соответствующего знака на крышке термочувствительного...

Устройство подачи паров жидкого вещества в реактор установки химического осаждения из газовой фазы

Загрузка...

Номер патента: 11859

Опубликовано: 30.04.2009

Авторы: Наливайко Олег Юрьевич, Плебанович Владимир Иванович, Сидерко Александр Александрович, Пшеничный Евгений Николаевич

МПК: B01F 03/04, G05D 23/00, F24H 9/02...

Метки: фазы, осаждения, жидкого, газовой, паров, подачи, установки, химического, реактор, вещества, устройство

Текст:

...использование резервуара меньшей емкости (например, 5 литров или менее). Использование обогреваемого трубопровода для подачи паров жидкого вещества в реактор технологической установки позволяет исключить конденсацию паров и засорение трубопровода. Для исключения конденсации паров внутри трубопровода необходимо обеспечить нагрев трубопровода до температуры на 2-5 С выше температуры паров жидкого вещества. Использование измерителя потока паров...