G01B 11/30 — для измерения шероховатости или неровностей поверхностей

Способ контроля качества поверхности изделия, в частности, полупроводниковой пластины и/или структуры

Загрузка...

Номер патента: 14195

Опубликовано: 30.04.2011

Авторы: Емельянов Виктор Андреевич, Емельянов Антон Викторович

МПК: G01B 11/30, G01N 21/88, H01L 21/66...

Метки: контроля, поверхности, полупроводниковой, способ, пластины, качества, изделия, частности, структуры

Текст:

...дефектного участка поверхности превращается в точку) в области между экраном и держателем образцов, что значительно затрудняет идентификацию этих дефектов. Заявляемое изобретение поясняется чертежами, где на фиг. 1 приведена схема осуществления контроля, а на фиг. 2-6 приведены светотеневые изображения поверхностей полупроводниковых пластин и структур, полученные с помощью прототипа (а) и заявляемого способа (б). Свет от точечного источника...

Устройство для контроля качества поверхности изделия, в частности, полупроводниковой пластины и/или структуры

Загрузка...

Номер патента: 14194

Опубликовано: 30.04.2011

Авторы: Емельянов Антон Викторович, Емельянов Виктор Андреевич

МПК: G01B 11/30, G01N 21/88, G01B 9/00...

Метки: контроля, устройство, частности, структуры, полупроводниковой, поверхности, качества, изделия, пластины

Текст:

...где на фиг. 1 приведена схема заявляемого устройства, а на фиг. 2-6 приведены светотеневые изображения поверхностей полупроводниковых пластин и структур, полученные с помощью прототипа (а) и заявляемого устройства (б). Заявляемое устройство содержит точечный источник оптического излучения 1, держатель образцов 2, выполненный в виде кольцевой опоры, внутри которой создается разрежение за счет подключения к вакуумной магистрали или насосу...

Устройство для получения количественных характеристик дефектов поверхности изделий

Загрузка...

Номер патента: 13857

Опубликовано: 30.12.2010

Авторы: Сякерский Валентин Степанович, Сенько Сергей Федорович, Белоус Анатолий Иванович

МПК: H01L 21/66, G01N 21/88, G01B 11/30...

Метки: изделий, получения, дефектов, характеристик, количественных, поверхности, устройство

Текст:

...содержащее точечный источник оптического излучения, держатель изделий и экран, содержит расположенную между источником излучения и держателем изделий координатную сетку, а также тем, что в качестве координатной сетки используют фотошаблон топологических структур полупроводниковых приборов. Сущность заявляемого технического решения заключается в формировании на контролируемой поверхности светотеневой координатной сетки, искажение...

Способ контроля качества поверхности изделий

Загрузка...

Номер патента: 13856

Опубликовано: 30.12.2010

Авторы: Белоус Анатолий Иванович, Сенько Сергей Федорович, Сякерский Валентин Степанович

МПК: G01B 11/30, G01N 21/88, H01L 21/66...

Метки: контроля, способ, поверхности, качества, изделий

Текст:

...в качестве координатной сетки. Формирование координатной сетки более дешевыми способами, например трафаретной печатью, как правило, повреждает поверхность полупроводниковых пластин. Поэтому их использование также ограничено. Таким образом, недостатки прототипа связаны с высокой трудоемкостью контроля,обусловленной как большим количеством технологических операций по приготовлению образцов для контроля, так и сложностью этих операций....

Способ оценки состояния поверхности конструктивного элемента

Загрузка...

Номер патента: 12741

Опубликовано: 30.12.2009

Авторы: Лапина Виктория Алексеевна, Белый Владимир Николаевич, Чижевский Вячеслав Николаевич, Казак Николай Станиславович, Осипов Владимир Петрович

МПК: G01N 21/88, G01B 11/30

Метки: элемента, конструктивного, состояния, оценки, поверхности, способ

Текст:

...215,4 нм. На фиг. 6 показан 3-профиль вторичного излучения от тестируемой поверхности при шероховатости поверхности 58,0 нм. На фиг. 7 показана блок-схема программной реализации способа оценки состояния поверхности. Оценка состояния поверхности конструктивного элемента, согласно изобретению,осуществляется следующим образом. На фиг. 1 показана возможная конфигурация расположения детектора 5 и, соответственно покрытой поверхности...

Устройство для контроля качества поверхности изделий

Загрузка...

Номер патента: U 5775

Опубликовано: 30.12.2009

Авторы: Емельянов Виктор Андреевич, Емельянов Антон Викторович

МПК: H01L 21/66, G01N 21/88, G01B 11/30...

Метки: устройство, контроля, качества, изделий, поверхности

Текст:

...уменьшением радиуса кривизны наблюдаемых топографических дефектов. В ряде случаев это приводит к фокусировке их изображения (изображение дефектного участка поверхности превращается в точку) в области между экраном и держателем образцов, что значительно затрудняет идентификацию этих дефектов. Заявляемая полезная модель поясняется чертежами, где на фиг. 1 приведена схема заявляемого устройства, а на фиг. 2-6 приведены светотеневые изображения...

Устройство для контроля качества поверхности изделий

Загрузка...

Номер патента: U 5480

Опубликовано: 30.08.2009

Авторы: Сенько Сергей Федорович, Белоус Анатолий Иванович, Сякерский Валентин Степанович

МПК: H01L 21/66, G01N 21/88, G01B 11/30...

Метки: контроля, изделий, поверхности, устройство, качества

Текст:

...источник оптического излучения, держатель образцов и экран, дополнительно содержит расположенную между источником излучения и держателем образцов координатную сетку, а также тем, что в качестве координатной сетки используют фотошаблон топологических структур полупроводниковых приборов. Сущность заявляемого технического решения заключается в формировании на контролируемой поверхности светотеневой координатной сетки, искажение изображения...

Устройство для измерения перемещения исследуемого объекта и/или профиля его поверхности

Загрузка...

Номер патента: 10548

Опубликовано: 30.04.2008

Авторы: Ильин Виктор Николаевич, Михаевич Денис Александрович, Дубешко Александр Викторович

МПК: G01B 11/26, G01B 11/24, G01B 11/14...

Метки: перемещения, устройство, профиля, измерения, исследуемого, объекта, поверхности

Текст:

...42 прямоугольные призмы обеспечивают направление проходящим пучкам света под углами интерференции соответственно к первому и третьему пучкам света. Высота каждой прямоугольной призмы равна половине диаметра пучка света. Преломляющая призма 4 оптически связана с измеряемым объектом 5, воспроизводящей линзой 6 и устройством обнаружения 7, выполненного в виде фотодиодной матрицы. Устройство обнаружения 7 электрически связано с устройством...

Способ контроля качества поверхности изделия

Загрузка...

Номер патента: 10214

Опубликовано: 28.02.2008

Авторы: Сенько Александр Сергеевич, Белоус Анатолий Иванович, Сенько Сергей Федорович, Плебанович Владимир Иванович

МПК: G01N 21/88, G01B 11/30, H01L 21/66...

Метки: поверхности, изделия, способ, контроля, качества

Текст:

...областью в виде квадратного фрагмента размером . Фактический диаметр изображения всей поверхности пластины составляет 200 мм (1000 мм, т.е./2), фактический размер изображения фрагмента, т.е.40 мм (примечание в данном случае при печати все размеры несколько уменьшены). На фиг. 3 приведен упомянутый выделенный фрагмент изображения поверхности пластины с разделением его на четыре равных элемента размером , с усреднением яркости изображения...

Способ контроля качества поверхности изделия

Загрузка...

Номер патента: 10213

Опубликовано: 28.02.2008

Авторы: Белоус Анатолий Иванович, Сенько Сергей Федорович, Плебанович Владимир Иванович

МПК: G01B 11/30, H01L 21/66, G01N 21/88...

Метки: качества, способ, изделия, поверхности, контроля

Текст:

...таких поверхностей лучшую планаризацию. Материалы разных слоев покрытия также могут быть разными. Шероховатость поверхностей, используемых в изделиях микроэлектроники, оптики,точного машиностроения и др. областей науки и техники, где наличие дефектов поверхности является одним из показателей ее качества, соответствует преимущественно 6-14 классам. Поверхности 13-го и 14-го класса шероховатости являются зеркальными. Для контроля их качества...

Устройство для определения шероховатости поверхности и устройство для определения непараллельности оптического излучения в пучке, используемое в нем

Загрузка...

Номер патента: 9725

Опубликовано: 30.10.2007

Авторы: Тихова Елена Леонидовна, Шалупаев Сергей Викентьевич, Купо Александр Николаевич, Кондратенко Владимир Иванович

МПК: G01N 21/88, G01B 11/30

Метки: нем, устройство, определения, поверхности, пучке, излучения, используемое, шероховатости, непараллельности, оптического

Текст:

...тем, что в устройстве для определения шероховатости поверхности, содержащем источник зондирующего пучка излучения, полупрозрачную пластину, узел для разделения зеркально и диффузно рассеянных компонент излучения, а также коллиматор, фотоприемники для регистрации зеркально и диффузно рассеянных компонент с блоком обработки полученных ими сигналов,первый из которых связан с полупрозрачной пластиной, источник излучения выполнен в...

Способ контроля качества поверхности изделий

Загрузка...

Номер патента: 9545

Опубликовано: 30.08.2007

Авторы: Сенько Александр Сергеевич, Сенько Сергей Федорович, Емельянов Антон Викторович, Белоус Анатолий Иванович

МПК: G01N 21/88, H01L 21/66, G01B 11/30...

Метки: способ, изделий, контроля, качества, поверхности

Текст:

...оптического диапазона от точечного источника и анализ отраженного на экран светотеневого изображения 4.При Контроле поверхности согласно способу-прототипу свет от точечного источника направляют на контролируемую поверхность, а отраженный световой поток - на экран. Наличие дефектов поверхности приводит К локальному изменению угла отражения падающего света, что проявляется в изменении интенсивности освещения соответствующих этим дефектам...

Устройство для контроля качества поверхности изделий

Загрузка...

Номер патента: 9319

Опубликовано: 30.06.2007

Авторы: Сенько Александр Сергеевич, Сенько Сергей Федорович, Белоус Анатолий Иванович, Емельянов Антон Викторович

МПК: G01B 9/00, G01N 21/88, G01B 11/30...

Метки: качества, контроля, поверхности, устройство, изделий

Текст:

...Направление отраженного света обусловлено всевозможной пространственной ориентацией граней, приводя к диффузному отражению, т.е. рассеянию света. При больщих углах падения света часть граней неровностей попадает в область тени соседних неровностей поверхности.При этом освещается только часть граней неровностей поверхности, находящаяся вне тени И обращенная К источнику света. При дальнейшем увеличении угла падения света освещается все...

Способ контроля качества поверхности изделий

Загрузка...

Номер патента: 9318

Опубликовано: 30.06.2007

Авторы: Сенько Сергей Федорович, Сенько Александр Сергеевич, Емельянов Антон Викторович, Белоус Анатолий Иванович

МПК: H01L 21/66, G01B 11/30, G01N 21/88...

Метки: контроля, качества, поверхности, изделий, способ

Текст:

...размер проекции микронеровностей на волновой фронтисточника излучения уменьшается пропорционально косинусу угла падения. При некотором достаточно большом угле этот размер становится меньше четверти длины волны, что приводит К возникновению зеркальной Компоненты в отраженном световом потоке.Совокупность рассмотренных факторов позволяет получить псевдозеркальную компоненту отраженного света, обеспечивающую формирование изображения контролируемой...

Способ определения показателя фрактальной размерности поверхности бумаги или картона

Загрузка...

Номер патента: 9417

Опубликовано: 30.06.2007

Авторы: Медяк Диана Михайловна, Кулак Михаил Иосифович

МПК: G01B 11/30, G01N 21/88

Метки: поверхности, способ, размерности, определения, картона, или, показателя, бумаги, фрактальной

Текст:

...поверхности предполагается расчет и сопоставление фрактальных размерностей, полученных по предложенному способу и с помощью наиболее точного метода прямого контактного ощупывания поверхности бумаги, т.е. механического способа. Использование для сравнения способа, указанного в прототипе, невозможно вследствие неравнозначности получаемых результатов и принципиально иного подхода к оценке степени шероховатости исследуемой поверхности....

Способ бесконтактного определения объемного и поверхностного показателей фрактальной размерности бумаги

Загрузка...

Номер патента: 9067

Опубликовано: 30.04.2007

Авторы: Медяк Диана Михайловна, Кулак Михаил Иосифович

МПК: G01N 21/89, G01B 11/30

Метки: фрактальной, бумаги, объемного, определения, показателей, способ, поверхностного, размерности, бесконтактного

Текст:

...видов бумаги. Испытывались образцы газетной бумаги - Балахнинского ЦБК, цветная бумага Кондопогского ЦБК, АО Волга, газетная офсетной бумаги - офсетная 1, офсетная,мелованной бумаги -,,,,. Определение характеристик каждого образца проводили следующим образом. Образцы бумаги просвечивались на лабораторной установке, оснащенной лазером с длиной волны 650 нм, измерялась интенсивность падающего потока излучения и прошедшего через образец,...

Способ контроля качества поверхности изделий

Загрузка...

Номер патента: 8716

Опубликовано: 30.12.2006

Авторы: Емельянов Виктор Андреевич, Сенько Александр Сергеевич, Сенько Сергей Федорович, Белоус Анатолий Иванович

МПК: G01B 11/30, H01L 21/66, G01N 21/88...

Метки: изделий, контроля, качества, способ, поверхности

Текст:

...несовершенства поверхности, являющиеся важным показателем качества контролируемых поверхностей. Они приводят к диффузному рассеянию света и не могут быть идентифицированы.В результате при использовании способа-прототипа контроль качества поверхности в ряде случаев оказывается недостаточно объективным. Причиной этого является недостаточно высокое качество получаемой светотеневой Картины, обусловленное наложением зеркально и диффузно...

Устройство для контроля качества поверхности изделий

Загрузка...

Номер патента: 8675

Опубликовано: 30.12.2006

Авторы: Сенько Александр Сергеевич, Сенько Сергей Федорович, Емельянов Виктор Андреевич, Белоус Анатолий Иванович

МПК: G01N 21/88, G01B 11/30, H01L 21/66...

Метки: устройство, поверхности, качества, контроля, изделий

Текст:

...возможностей устройства за счет пространственного разделения оптических компонент, формирующих изображение контролируемой поверхности.Поставленная задача решается тем, что устройство для контроля качества поверхности изделий, включающее точечный источник оптического излучения, держатель образцов И экран, между источником Излучения И держателем образцов содержит подвижный трафарет, отверстие в котором обеспечивает освещение...

Способ контроля качества поверхностей изделий

Загрузка...

Номер патента: 8342

Опубликовано: 30.08.2006

Авторы: Сенько Александр Сергеевич, Сенько Сергей Федорович, Зеленин Виктор Алексеевич, Пуглаченко Елена Георгиевна

МПК: G01B 11/30, G01N 21/88, H01L 21/66...

Метки: качества, способ, изделий, контроля, поверхностей

Текст:

...ямок и бугорков различных размеров и форм. Наличие ямки приводит к фокусировке отраженного света, что на топограмме проявляется в появлении более светлого, по сравнению со средней освещенностью топограммы, пятна. Наличие бугорка, наоборот, приводит к расфокусировке света, что проявляется в появлении на топограмме темного пятна. Интенсивность освещения любой точки на экране отражает локальную кривизну контролируемой поверхности в...

Устройство для контроля качества поверхности изделий

Загрузка...

Номер патента: 7255

Опубликовано: 30.09.2005

Авторы: Емельянов Виктор Андреевич, Сенько Сергей Федорович, Белоус Анатолий Иванович, Сенько Александр Сергеевич

МПК: G01B 11/30, H01L 21/66

Метки: устройство, поверхности, контроля, качества, изделий

Текст:

...приведенной на фиг. 3, показано заявляемое устройство, включающее точечный источник света, помещенный в корпус 1, внутри которого установлено выпуклое зеркало. Источник света питается от блока питания 2, установленного вне рабочей зоны контроля. Свет от точечного источника после отражения от выпуклого зеркала попадает на предметный столик 3 с установленной на нем контролируемой пластиной. Отраженный пучок света направляется на экран...

Способ и устройство для определения шероховатости поверхности

Загрузка...

Номер патента: 6158

Опубликовано: 30.06.2004

Авторы: Сытько Владимир Владимирович, Тихова Елена Леонидовна, Пастухов Михаил Иванович, Кондратенко Владимир Иванович

МПК: G01B 11/30

Метки: способ, шероховатости, поверхности, определения, устройство

Текст:

...по которой судят об интегральной интенсивности промодулированного отраженного излучения на заданной пространственной частоте, а о шероховатости поверхности судят по средней квадратической высоте микронеровностей на поверхности,которую определяют по отношению интегральной интенсивности промодулированного отраженного излучения на заданной пространственной частоте к интенсивности отраженного излучения на нулевой пространственной частоте....

Устройство интерференционного контроля геометрических параметров полупроводниковых пластин

Загрузка...

Номер патента: 5616

Опубликовано: 30.12.2003

Авторы: Колесников Вячеслав Михайлович, Самохвалов Валерий Константинович, Стецик Виктор Михайлович, Чухлиб Владимир Иванович, Матюшков Владимир Егорович

МПК: G01B 11/24, G01B 11/30

Метки: параметров, полупроводниковых, контроля, пластин, интерференционного, устройство, геометрических

Текст:

...- упрощение конструкции устройства Суть изобретения поясняется чертежом, где изображена оптическая схема предложенного устройства. Устройство содержит инжекционный полупроводниковый лазер 1 с широкой диаграммой направленности излучения, подключенный к источнику тока накачки 2, четвертьволновую пластину 3, первый объектив 4 для освещения в параллельном ходе лучей контролируемого объекта 11, расположенного перпендикулярно оптической оси...

Устройство для создания муаровой картины

Загрузка...

Номер патента: 3525

Опубликовано: 30.09.2000

Авторы: Александров Сергей Алексеевич, Лойко Михаил Михайлович, Забаровский Виталий Константинович, Шкадаревич Алексей Петрович

МПК: G01B 11/30, G02B 27/60, A61B 5/103...

Метки: устройство, создания, картины, муаровой

Текст:

...для создания муаровой картины, содержащем два проектора с линейными периодическими растрами, отличием является то, что каждый растр установлен с возможностью поворота вокруг оси,перпендикулярной плоскости, содержащей оптические оси обоих проекторов. Изобретение поясняется чертежом - принципиальной схемой устройства. Устройство для создания муаровой картины содержит проекторы 1, 2, снабженные линейными периодическими растрами 3, 4, которые...

Устройство для определения шероховатости поверхности

Загрузка...

Номер патента: 2838

Опубликовано: 30.06.1999

Авторы: Сытько Владимир Владимирович, Свириденко Юрий Николаевич, Шолох Владимир Федорович, Алешкевич Николай Иванович

МПК: G01B 11/30

Метки: определения, поверхности, устройство, шероховатости

Текст:

...более полного разделения диффузной и зеркальной компонент отраженного светового потока. Достижение указанного технического результата обеспечивается тем, что в устройстве для определения шероховатости поверхности, содержащем лазер, фокусирующую линзу, первый фотометрический шар с фотоприемником, снабженный выходным отверстием и отверстием для зондирования поверхности, второй фотометрический шар с фотоприемником, измерительный блок,...

Устройство для определения шероховатости поверхности

Загрузка...

Номер патента: 2623

Опубликовано: 30.03.1999

Автор: Стариков Сергей Владимирович

МПК: G01B 21/47, G01B 21/88, G01B 11/30...

Метки: определения, устройство, шероховатости, поверхности

Текст:

...С 2 з гдед. - интегральная интенсивность диффузной компоненты отраженного света с - интегральная интенсивность зеркальной компоненты отраженного света- средняя высота неровностей профиля С - постоянная устройства, зависящая от угла падения и длины волны света (при коэффициенте отражения поверхности эллипсоида, близком к 1). Коэффициент С может быть определен экспериментально или теоретически. Благодаря указанной зависимости (1) и...