F24H 9/02 — корпуса; крышки; декоративные панели

Устройство подачи паров жидкого вещества в реактор установки химического осаждения из газовой фазы

Загрузка...

Номер патента: 11859

Опубликовано: 30.04.2009

Авторы: Наливайко Олег Юрьевич, Сидерко Александр Александрович, Плебанович Владимир Иванович, Пшеничный Евгений Николаевич

МПК: B01F 03/04, G05D 23/00, F24H 9/02...

Метки: газовой, химического, фазы, подачи, осаждения, устройство, установки, паров, жидкого, реактор, вещества

Текст:

...использование резервуара меньшей емкости (например, 5 литров или менее). Использование обогреваемого трубопровода для подачи паров жидкого вещества в реактор технологической установки позволяет исключить конденсацию паров и засорение трубопровода. Для исключения конденсации паров внутри трубопровода необходимо обеспечить нагрев трубопровода до температуры на 2-5 С выше температуры паров жидкого вещества. Использование измерителя потока паров...