Есьман Василий Михайлович

Устройство автоматической фокусировки

Загрузка...

Номер патента: U 10346

Опубликовано: 30.10.2014

Авторы: Титко Елена Александровна, Есьман Василий Михайлович, Крот Вадим Валентинович

МПК: G03B 27/42

Метки: фокусировки, автоматической, устройство

Текст:

...рисунку и технологическим слоям подложки по сравнению с описанными в 1, 2, но его точность ограничивается тем, что на поверхность подложки строится одна линия, изображение которой искажается рельефом топологии подложки. Целью полезной модели является повышение точности работы устройства автоматической фокусировки за счет снижения влияния рельефа топологических слоев на погрешность измерения положения поверхности подложек. Поставленная...

Устройство автоматической фокусировки

Загрузка...

Номер патента: U 10311

Опубликовано: 30.10.2014

Авторы: Титко Елена Александровна, Есьман Василий Михайлович, Агейченко Александр Степанович

МПК: G03B 027/42

Метки: устройство, фокусировки, автоматической

Текст:

...волны инфракрасного диапазона, конденсора, маски, апертурную диафрагму, первый объектив, поворотные зеркала, второй объектив, амплитудно-фазовый пространственный фильтр, блок определения вертикального положения подложки, блок управления координатным столом 2. Недостатком прототипа является дополнительная погрешность в измерении положения поверхности пластины из-за присутствия паразитного изображения маски в свете, отраженном от нижней...

Устройство автоматической фокусировки

Загрузка...

Номер патента: U 9932

Опубликовано: 28.02.2014

Авторы: Корнелюк Александр Иванович, Красневская Юлия Ивановна, Агейченко Александр Степанович, Есьман Василий Михайлович

МПК: G03B 27/42

Метки: автоматической, фокусировки, устройство

Текст:

...фокусировки за счет снижения влияния рельефа топологических слоев на погрешность измерения положения поверхности подложек. Поставленная задача достигается тем, что устройство автоматической фокусировки,содержащее координатный стол с подложкой, объектив, осветитель устройства автоматической фокусировки, состоящий из излучателя, телескопической системы, поляризационного светоделителя и четвертьволновой пластины, дихроичный фильтр,...

Устройство автоматической фокусировки

Загрузка...

Номер патента: U 9848

Опубликовано: 30.12.2013

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Есьман Василий Михайлович

МПК: G03B 27/42

Метки: фокусировки, устройство, автоматической

Текст:

...фокусировки содержит координатный стол с подложкой, осветительную систему, состоящую из источника излучения с длиной волны инфракрасного диапазона, конденсора, маски, первого объектива для построения изображения маски на плоскость подложки, второго объектива для построения отраженного от подложки изображения в плоскость фотоприемника, электронный блок определения вертикального положения подложки, блок управления координатным столом, а...

Проекционная экспонирующая система

Загрузка...

Номер патента: U 9792

Опубликовано: 30.12.2013

Авторы: Есьман Василий Михайлович, Агейченко Александр Степанович, Васильев Алексей Андреевич

МПК: G02B 17/00, G03F 7/20

Метки: экспонирующая, проекционная, система

Текст:

...источник света 11 знака совмещения ретикла экспонирующим светом. Этот свет освещает дифракционный знак совмещения ретикла 14. Свет от кольцевого темнопрольного источника света 11, проходящий через ретикл, не попадает во входную апертуру проекционного объектива 3 и не проходит через проекционный объектив 3. Дифракционный знак совмещения ретикла представляет собой двухмерную дифракционную решетку, то есть двухмерную периодическую...

Устройство автоматической фокусировки

Загрузка...

Номер патента: U 9638

Опубликовано: 30.10.2013

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Есьман Василий Михайлович, Крот Вадим Валентинович

МПК: G03B 027/42

Метки: автоматической, фокусировки, устройство

Текст:

...фокусировки. Поставленная задача достигается тем, что в устройстве автоматической фокусировки,содержащем координатный стол, проекционный объектив, датчик фокусировки, состоящий из осветительной части, содержащей источник излучения, конденсор, маску, апертурную диафрагму и линзовый блок, и приемной части, содержащей линзовый блок,апертурную диафрагму и фотоприемник, блок определения вертикального положения подложки и блок управления...

Оптическое устройство совмещения установки фотолитографии

Загрузка...

Номер патента: 17160

Опубликовано: 30.06.2013

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Есьман Василий Михайлович

МПК: G03F 9/00, G03F 7/20

Метки: совмещения, устройство, оптическое, установки, фотолитографии

Текст:

...и профиль фильтра в разрезе. на фиг. 5 приведен сигнал оптической свертки изображения знака совмещения и его математического образа. Оптическое устройство совмещения для установки фотолитографии (фиг. 1) содержит координатный стол ретиклов (на фиг. 1 не показан) с ретиклом 1, содержащим знаки базирования 2, датчики базирования ретикла 3, проекционный объектив 5, датчик совмещения 4,стол пластин 11 с пластиной 8 и знаками совмещения 9,...

Устройство автоматической фокусировки

Загрузка...

Номер патента: U 9150

Опубликовано: 30.04.2013

Авторы: Корнелюк Александр Иванович, Красневская Юлия Ивановна, Орлова Татьяна Львовна, Есьман Василий Михайлович

МПК: G03B 27/42

Метки: устройство, фокусировки, автоматической

Текст:

...при использовании устройства фокусировки в контрольно-измерительных установках или к ошибкам в изготовлении элементов топологии (уход размеров и/или их положения) при использовании устройства фокусировки в технологическом оборудовании. Описанное в прототипе устройство автоматической фокусировки обладает несколько меньшей чувствительностью к топологическому рисунку и технологическим слоям подложки по сравнению с аналогом, но его точность...

Многоканальный лазерный генератор изображений

Загрузка...

Номер патента: 15702

Опубликовано: 30.04.2012

Авторы: Есьман Василий Михайлович, Пушкин Леонид Владимирович, Аваков Сергей Мирзоевич

МПК: G02B 26/12, G02B 27/18, G03F 7/20...

Метки: многоканальный, лазерный, генератор, изображений

Текст:

...датчик углового положения луча 8,предназначенный для измерения пространственного положения луча источника излучения. Управляемое поворотное зеркало 7 по сигналам датчика углового положения луча 8 стабилизирует положение последнего в пространстве, устраняет колебания, обусловленные разогревом источника излучения и термическими деформациями узлов его крепления на генераторе изображений, что значительно снижает погрешности изготавливаемой...

Многоканальный генератор изображений

Загрузка...

Номер патента: 14775

Опубликовано: 30.08.2011

Авторы: Есьман Василий Михайлович, Пушкин Леонид Владимирович, Колупаев Владимир Дмитриевич, Аваков Сергей Мирзоевич

МПК: G02B 27/18, H01L 21/027

Метки: многоканальный, генератор, изображений

Текст:

...источника излучения на датчик углового положения луча 4. Основная часть света проходит далее через корректор разме 2 14775 1 2011.08.30 ров световых пятен 5, расщепитель луча 6 (который расщепляет луч на семнадцать пучков одинаковой интенсивности) и осветитель, состоящий из элементов 7 и 8. Таким образом,на входе в многоканальный затвор 9 формируется шестнадцать параллельных между собой пучков с равным расстоянием между соседними пучками (в...

Проекционная экспонирующая система

Загрузка...

Номер патента: U 7278

Опубликовано: 30.06.2011

Авторы: Есьман Василий Михайлович, Агейченко Александр Степанович, Васильев Алексей Андреевич

МПК: G02B 17/00, G03B 27/42

Метки: экспонирующая, проекционная, система

Текст:

...управления системой, фотоэлектрический датчик измерения положения плоскости резкого изображения проекционного объектива, установленный на проекционном объективе, а также содержит дополнительные осветители для освещения экспонирующим светом специальных знаков, расположенных на ретикле вне зоны экспонируемой топологии, с возможностью измерения координат изображений специальных знаков фотоприемником со щелевой диафрагмой, расположенной на...

Способ аттестации координатной системы установки литографии

Загрузка...

Номер патента: 14141

Опубликовано: 30.04.2011

Авторы: Корнелюк Александр Иванович, Борисевич Виктория Стефановна, Есьман Василий Михайлович, Пушкина Татьяна Владимировна

МПК: G03F 9/00, G01B 11/03

Метки: установки, аттестации, системы, координатной, способ, литографии

Текст:

...первой пластины на координатный стол, формирование на ней знаков аттестации без коррекции координатного стола, измерение координат сформированных знаков при поворотах пластины на множество углов,расчет функции коррекции с учетом измеренных координат и ввод рассчитанной функции коррекции в систему управления координатной системой установки. После этого на координатный стол устанавливают вторую пластину, формируют на ней знаки аттестации,...

Проекционная экспонирующая система

Загрузка...

Номер патента: U 7222

Опубликовано: 30.04.2011

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Трубчик Иван Трофимович, Есьман Василий Михайлович

МПК: G03B 27/42, G02B 17/00

Метки: система, экспонирующая, проекционная

Текст:

...обработок (травление, имплантация, напыление) на поверхности подложки появляется определенный рельеф топологических структур изготавливаемых приборов. Особенно неровность поверхности подложки становится заметна на финишных технологических слоях. Слой фоторезиста, покрывающий подложку, не всегда нивелирует рельеф топологии. Поэтому изображение малого отверстия маски датчика фокусировки,построенное на такую поверхность, может попасть либо на...

Устройство автоматической фокусировки

Загрузка...

Номер патента: U 6302

Опубликовано: 30.06.2010

Авторы: Есьман Василий Михайлович, Стасевич Михаил Николаевич, Окорок Анатолий Григорьевич

МПК: G02B 7/28, G03B 27/42

Метки: устройство, автоматической, фокусировки

Текст:

...когерентным излучением приводит к интерференции пучков в пленках технологических слоев,2 63022010.06.30 снижению их мощности, искажению формы и, как следствие, к погрешности отсчета фокусировки. Целью полезной модели является повышение точности работы устройства автоматической фокусировки за счет снижения влияния топологии и технологических слоев на погрешность отсчета плоскости фокусировки. Поставленная задача достигается тем, что...

Проекционная экспонирующая система

Загрузка...

Номер патента: 12219

Опубликовано: 30.08.2009

Авторы: Агейченко Александр Степанович, Васильев Алексей Андреевич, Гуревич Элла Семеновна, Аваков Сергей Мирзоевич, Есьман Василий Михайлович

МПК: G02B 27/18, G03F 7/20

Метки: проекционная, система, экспонирующая

Текст:

...сторона которой является сферическим зеркалом 9 проекционного объектива 4. Объектив совмещения 12 состоит из склеенных линз 19 и 20, зеркала 21 и апертурной диафрагмы 22. Приемная ТВ камера 13 устройства совмещения подключена к управляющей плате, которая установлена на шине управляющего компьютера (на рисунке не показаны). Темнопольный кольцевой осветитель 14 для освещения знака совмещения пластины 11 неэкспонирующим светом длиной волны 1...

Проекционная экспонирующая система

Загрузка...

Номер патента: U 4940

Опубликовано: 30.12.2008

Авторы: Курахтина Оксана Викторовна, Агейченко Александр Степанович, Есьман Василий Михайлович

МПК: G03B 27/42, G02B 17/00

Метки: система, экспонирующая, проекционная

Текст:

...переноса изображения и увеличение производительности устройства экспонирования. Поставленная задача достигается тем, что проекционная экспонирующая система содержит источник экспонирующего излучения, координатный стол ретиклов с ретиклом,проекционный объектив, фотоприемник со щелевой диафрагмой, установленный на координатном столе пластин, выполненном с тремя приводами перемещения вдоль оптической оси объектива, фотоэлектрический...

Фотоэлектрический преобразователь круговых перемещений

Загрузка...

Номер патента: U 4468

Опубликовано: 30.06.2008

Авторы: Аваков Сергей Мирзоевич, Есьман Василий Михайлович, Симонов Александр Тихонович, Трапашко Георгий Алексеевич, Басалаев Сергей Петрович

МПК: G01D 5/26

Метки: преобразователь, круговых, перемещений, фотоэлектрический

Текст:

...зеркал за участком М 2 лимба падает плюсовой порядок от плюсового порядка Р - поляризации и минусовой порядок от минусового порядка- поляризации. На другое зеркало падает минусовой порядок от плюсового порядка Р - поляризации и плюсовой порядок от минусового порядка- поляризации. Рабочими являются два пучка - плюсовой от плюсового порядка Р - поляризации и минусовой от минусового порядка-поляризации. Два других являются нерабочими и не должны...

Проекционная экспонирующая система

Загрузка...

Номер патента: 8951

Опубликовано: 28.02.2007

Авторы: Мощеников Владимир Юрьевич, Агейченко Александр Степанович, Матюшков Владимир Егорович, Есьман Василий Михайлович, Гуревич Элла Семеновна

МПК: G01B 9/02, G03F 7/20

Метки: система, проекционная, экспонирующая

Текст:

...содержит источник света 16 для освещения знаков на пластине 11 неэкспонирующим светом с длиной волны М, второй источник света 17, расположенный с возможностью освещения знака совмещения на ретикле 3 светом с длиной волны 7 ь 2, причем 7 ь 2 7 ь 1, группы линз 18 и двояковогнутую линзу 9, одна сторона которой является сферическим зеркалом 9 проекционного объектива 4.Объектив совмещения 12, выполненный с величиной осевой хроматической...