Цыбулько Игорь Александрович

Накопительный конденсатор элемента памяти интегральных схем

Загрузка...

Номер патента: 2639

Опубликовано: 30.03.1999

Авторы: Довнар Николай Александрович, Смаль Игорь Вацлавович, Турцевич Аркадий Степанович, Цыбулько Игорь Александрович, Красницкий Василий Яковлевич

МПК: H01L 27/10, H01L 29/92

Метки: интегральных, памяти, схем, конденсатор, элемента, накопительный

Текст:

...3, разделительную область 4 из диэлектрического материала повторяющую рельеф первой обкладки, вторую обкладку 5 из легированного поликремния, нижняя поверхность которой повторяет рельеф первой. Работа накопительного конденсатора идентична работе типового однотранзисторного элемента памяти динамического запоминающего устройства. В техническом решении по изобретению получается канавка с несколькими проводящими перегородками, что позволяет не...