Чернов Анатолий Сергеевич

Способ обработки поверхности изделий в вакууме в тлеющем разряде

Загрузка...

Номер патента: 17960

Опубликовано: 28.02.2014

Авторы: Логвин Владимир Александрович, Логвина Екатерина Владимировна, Чернов Анатолий Сергеевич

МПК: C23C 14/48, C23C 8/00, C23C 14/36...

Метки: обработки, изделий, вакууме, способ, разряде, тлеющем, поверхности

Текст:

...14 посредством приводного механизма 15,например винт-гайка от привода 13. На противоположной стороне внизу вакуумной камеры 3 расположен катод 5 на диэлектрической прокладке 6 с возможностью перемещения с помощью устройства 17 перемещения катода 5 по направляющим 18 посредством приводного механизма 19, например винт-гайка от привода 20. На катоде 5 выкладываются изделия 9, на которых необходимо произвести обработку поверхности....

Способ обработки поверхности изделий в вакууме в тлеющем разряде и устройство для его осуществления

Загрузка...

Номер патента: 17923

Опубликовано: 28.02.2014

Авторы: Логвина Екатерина Владимировна, Логвин Владимир Александрович, Терешко Ирина Васильевна, Чернов Анатолий Сергеевич, Редько Всеволод Петрович

МПК: C23C 14/48, C23C 8/00, C23C 14/38...

Метки: устройство, разряде, поверхности, вакууме, тлеющем, изделий, обработки, осуществления, способ

Текст:

...агрегат, вакуумную камеру с катодом и анодом, подключенными к источнику напряжения,согласно изобретению, содержит маски из диэлектрических материалов, установленные над изделиями и выполненные с возможностью отвода излучения от поверхностей, не требующих обработки, и концентрации на поверхностях, требующих более интенсивной обработки. Над изделиями установлены фокусаторы из диэлектрических материалов, выполненные с возможностью увеличения...