Чернов Анатолий Сергеевич

Способ обработки поверхности изделий в вакууме в тлеющем разряде

Загрузка...

Номер патента: 17960

Опубликовано: 28.02.2014

Авторы: Чернов Анатолий Сергеевич, Логвина Екатерина Владимировна, Логвин Владимир Александрович

МПК: C23C 14/36, C23C 14/48, C23C 8/00...

Метки: способ, тлеющем, обработки, поверхности, разряде, изделий, вакууме

Текст:

...14 посредством приводного механизма 15,например винт-гайка от привода 13. На противоположной стороне внизу вакуумной камеры 3 расположен катод 5 на диэлектрической прокладке 6 с возможностью перемещения с помощью устройства 17 перемещения катода 5 по направляющим 18 посредством приводного механизма 19, например винт-гайка от привода 20. На катоде 5 выкладываются изделия 9, на которых необходимо произвести обработку поверхности....

Способ обработки поверхности изделий в вакууме в тлеющем разряде и устройство для его осуществления

Загрузка...

Номер патента: 17923

Опубликовано: 28.02.2014

Авторы: Чернов Анатолий Сергеевич, Логвина Екатерина Владимировна, Терешко Ирина Васильевна, Редько Всеволод Петрович, Логвин Владимир Александрович

МПК: C23C 14/48, C23C 14/38, C23C 8/00...

Метки: изделий, поверхности, устройство, разряде, тлеющем, способ, вакууме, обработки, осуществления

Текст:

...агрегат, вакуумную камеру с катодом и анодом, подключенными к источнику напряжения,согласно изобретению, содержит маски из диэлектрических материалов, установленные над изделиями и выполненные с возможностью отвода излучения от поверхностей, не требующих обработки, и концентрации на поверхностях, требующих более интенсивной обработки. Над изделиями установлены фокусаторы из диэлектрических материалов, выполненные с возможностью увеличения...