Чапкович Анатолий Сергеевич

Катодный узел

Загрузка...

Номер патента: 9560

Опубликовано: 30.08.2007

Авторы: Соловьев Ярослав Александрович, Ануфриев Дмитрий Леонидович, Тарасиков Михаил Васильевич, Чапкович Анатолий Сергеевич, Турцевич Аркадий Степанович

МПК: C23C 14/34

Метки: катодный, узел

Текст:

...выступов на боковой поверхности катода-мишени не обеспечивается герметичное вакуум-плотное крепление катода-мишени к водоохлаждаемому держателю. Сущность изобретения поясняется фиг. 1-4, где на фиг. 1 схематично показано магнетронное распылительное устройство (МРУ) для ионно-плазменного напыления с катодным узлом в соответствии с прототипом, на фиг. 2 схематично показано устройство мишени для катодного узла МРУ согласно прототипу, на фиг. 3...