C23C 14/38 — с помощью тлеющего разряда постоянного тока

Устройство для контроля интенсивности излучения плазмы тлеющего разряда

Загрузка...

Номер патента: U 10193

Опубликовано: 30.08.2014

Авторы: Терешко Ирина Васильевна, Волченков Александр Владимирович, Редько Всеволод Петрович, Логвин Владимир Александрович, Логвина Екатерина Владимировна

МПК: C23C 14/38

Метки: излучения, интенсивности, тлеющего, плазмы, устройство, контроля, разряда

Текст:

...а вокруг направляющих установлены фиксирующе-затеняющие упругие шторки. На внутренней стороне корпуса вне направляющих дополнительно установлены прижимы с возможностью быстрой установки и снятия по меньшей мере одного интерференционного фильтра. В процессе обработки изделий из металлов и сплавов в плазме тлеющего разряда для достижения оптимальных параметров плазмы и соответственно качества обработки необходимо контролировать степень...

Устройство для контроля электромагнитного излучения плазмы тлеющего разряда

Загрузка...

Номер патента: U 9963

Опубликовано: 28.02.2014

Авторы: Логвин Владимир Александрович, Волченков Александр Владимирович, Логвина Екатерина Владимировна, Редько Всеволод Петрович, Терешко Ирина Васильевна

МПК: C23C 14/38

Метки: тлеющего, устройство, контроля, электромагнитного, разряда, излучения, плазмы

Текст:

...корпус, который установлен снаружи вакуумной камеры около смотрового окна, при этом одна ось симметрии токопроводящего контура расположена в плоскости, параллельной плоскости смотрового окна, а вторая ось симметрии токопроводящего контура перпендикулярна ей. Дополнительно устройство снабжено по меньшей мере одним токопроводящим контуром, и токопроводящие контуры расположены с равным угловым шагом относительно оси симметрии...

Способ обработки поверхности изделий в вакууме в тлеющем разряде и устройство для его осуществления

Загрузка...

Номер патента: 17923

Опубликовано: 28.02.2014

Авторы: Терешко Ирина Васильевна, Редько Всеволод Петрович, Чернов Анатолий Сергеевич, Логвина Екатерина Владимировна, Логвин Владимир Александрович

МПК: C23C 14/48, C23C 8/00, C23C 14/38...

Метки: изделий, способ, вакууме, осуществления, устройство, поверхности, обработки, разряде, тлеющем

Текст:

...агрегат, вакуумную камеру с катодом и анодом, подключенными к источнику напряжения,согласно изобретению, содержит маски из диэлектрических материалов, установленные над изделиями и выполненные с возможностью отвода излучения от поверхностей, не требующих обработки, и концентрации на поверхностях, требующих более интенсивной обработки. Над изделиями установлены фокусаторы из диэлектрических материалов, выполненные с возможностью увеличения...

Способ поверхностной обработки изделия в вакууме и устройство для его осуществления

Загрузка...

Номер патента: 16343

Опубликовано: 30.10.2012

Авторы: Логвина Екатерина Владимировна, Логвин Владимир Александрович

МПК: C23C 14/35, C23C 14/38, C23C 14/48...

Метки: способ, вакууме, обработки, осуществления, устройство, поверхностной, изделия

Текст:

...согласно изобретению, содержит источник высокочастотного пульсирующего тока, подключенный к изделию и содержащий регулятор частоты и регулятор тока и протяженный магнетрон, расположенный в вакуумной камере, с мишенью, выполненной с возможностью перемещения, смены, установки комбинированной мишени. Известно, что при высокочастотном изменении подаваемого постоянного тока происходит возрастание энергетического уровня материала. Кроме того, в...

Способ обработки изделия в вакууме и устройство для его осуществления

Загрузка...

Номер патента: 16337

Опубликовано: 30.10.2012

Авторы: Логвин Владимир Александрович, Логвина Екатерина Владимировна

МПК: C23C 14/38, C23C 14/48, C23C 8/00...

Метки: способ, изделия, осуществления, вакууме, обработки, устройство

Текст:

...источник высокочастотного импульсного тока,подключенный к двум расположенным в вакуумной камере электродам и содержащий регулятор частоты и регулятор тока и систему напуска технологических газов с устройством контроля объема напуска газа. Один электрод выполнен из титана, а второй - из вольфрама. Один электрод выполнен из циркония, а второй - из вольфрама. Один электрод выполнен из тантала, а второй - из вольфрама. Один электрод выполнен...

Способ упрочнения деталей тормозной системы в тлеющем разряде (варианты)

Загрузка...

Номер патента: 16414

Опубликовано: 30.10.2012

Авторы: Жолобов Александр Алексеевич, Логвина Екатерина Владимировна, Сазонов Игорь Сергеевич, Логвин Владимир Александрович

МПК: C23C 14/38, C23C 8/00

Метки: системы, способ, упрочнения, деталей, тлеющем, разряде, варианты, тормозной

Текст:

...к аноду между анодом и катодом, подключенными к источнику напряжения, осуществляют откачку воздуха из вакуумной камеры до разрежения 1,313,3 Па, создают между катодом и анодом, расположенными на расстоянии 300600 мм, напряжение 0,58 кВ и плотность тока 0,053 А/м 2,постепенно повышают напряжение между катодом и анодом до возбуждения самостоятельного тлеющего разряда, во время обработки детали тормозной системы непрерывно вращают в...

Способ упрочнения изделия

Загрузка...

Номер патента: 15548

Опубликовано: 28.02.2012

Авторы: Логвина Екатерина Владимировна, Жолобов Александр Алексеевич, Логвин Владимир Александрович

МПК: C23C 14/38, C23C 8/00

Метки: способ, изделия, упрочнения

Текст:

...действием катодного падения потенциала энергия ионов, исходящих из анода и образующихся в межкатодном пространстве, увеличивается. Подвергая изделие воздействию высокочастотного постоянного тока, в процессе обработки можно значительно повысить энергетический потенциал атомов кристаллической решетки материала упрочняемого изделия, тем самым создать условия для проведения структурных изменений в приповерхностных слоях материала упрочняемого...

Способ упрочнения изделий

Загрузка...

Номер патента: 15569

Опубликовано: 28.02.2012

Авторы: Логвин Владимир Александрович, Логвина Екатерина Владимировна, Жолобов Александр Алексеевич

МПК: C23C 8/00, C23C 14/38

Метки: изделий, упрочнения, способ

Текст:

...из циркония, титана, ниобия, хрома и тантала, а упрочняемые изделия - из твердого сплава и стали, в вакуумную камеру осуществляют напуск азота и углеродсодержащих газов, используют анод, выполненный из вольфрама. Между анодом и катодом размещают дополнительно упрочняемые изделия из сверхтвердых материалов. Используют анод, выполненный из титана со вставками по периметру из вольфрама. Используют анод, выполненный сборным из титана,...

Способ поверхностного упрочнения изделий

Загрузка...

Номер патента: 15546

Опубликовано: 28.02.2012

Авторы: Логвин Владимир Александрович, Логвина Екатерина Владимировна

МПК: C23C 14/38, C23C 8/00

Метки: упрочнения, изделий, поверхностного, способ

Текст:

...в лабораторной практике используют тлеющий разряд для катодного распыления материалов 2. Причина катодного распыления заключается в том, что каждый положительный ион при соударении с катодом и изделиями передает свою энергию небольшой группе атомов катода и изделий. Это приводит к сильному местному повышению температуры, возникающему в отдельных микроскопических областях катода и изделий, которое и приводит к испарению компонентов, входящих в...

Способ ультразвукового упрочнения изделий

Загрузка...

Номер патента: 15544

Опубликовано: 28.02.2012

Авторы: Логвин Владимир Александрович, Логвина Екатерина Владимировна

МПК: C23C 14/38, B06B 3/00, C23C 8/00...

Метки: изделий, ультразвукового, способ, упрочнения

Текст:

...металлов. Причина катодного распыления заключается в том,что каждый положительный ион при соударении с катодом и изделиями, контактирующими с катодом, передает свою энергию небольшой группе атомов катода и изделий, контактирующих с катодом. Кроме того, в тлеющем разряде поток ионов носит немоноэнергетический характер, не все ионы, исходящие из анода (электрода-излучателя) и расположенные в межкатодном пространстве, имеют энергию, достаточную...

Способ упрочнения изделий

Загрузка...

Номер патента: 15395

Опубликовано: 28.02.2012

Авторы: Логвина Екатерина Владимировна, Логвин Владимир Александрович

МПК: C23C 8/00, C23C 14/38

Метки: способ, упрочнения, изделий

Текст:

...изменений в материале упрочняемого изделия. Поэтому, подвергая анод и катод воздействию высокочастотного постоянного тока, в процессе обработки можно значительно повысить начальную энергию заряженных частиц, исходящих из анода и катода, тем самым усилить действие эффекта Франка-Рида по выходу ионов из анода и электронов из катода. Далее под действием катодного падения потенциала энергия ионов и электронов увеличивается. Тем самым повышается...

Способ поверхностного упрочнения изделий из металла или сплава

Загрузка...

Номер патента: 15276

Опубликовано: 30.12.2011

Авторы: Логвина Екатерина Владимировна, Логвин Владимир Александрович

МПК: C23C 14/38, C23C 8/00

Метки: или, металла, изделий, упрочнения, способ, поверхностного, сплава

Текст:

...дефектов 3. При этом ионы материала анода, покидающие анод, внедряются в поверхностный слой упрочняемого изделия с образованием устойчивых связей с кристаллической решеткой материала изделия, изменяя структуру поверхностного слоя упрочняемого изделия особенно в местах с повышенной плотностью дефектов, что препятствует распаду мартенсита. Вследствие увеличения межатомных расстояний в кристаллической решетке и под действием катодного падения...

Устройство для получения покрытий в вакууме

Загрузка...

Номер патента: 1375

Опубликовано: 16.09.1996

Авторы: Вершина Алексей Константинович, Яковчик Н. М., Ковалевский Виктор Николаевич, Фигурин Кирилл Борисович, Фигурин Борис Леонидович

МПК: C23C 14/00, C23C 14/38

Метки: получения, устройство, вакууме, покрытий

Текст:

...деталей.Предлагаемое устройство описывается следующим образом (фиг. 1). Напыляемая подложка 1 расположена фронтально распыляемому катоду 2, вмонтированному в стенку камеры 3. Параллельно распыляемому катоду установлен дополнительный катод 5, питаемый от источника б.Предлагаемое устройство работает следующим образом. До окончания процесса предварительной обработки осуществляется процесс распнгления в скрещенных магнитном и...