C23C 14/36 — диодное распыление

Способ обработки поверхности изделий в вакууме в тлеющем разряде

Загрузка...

Номер патента: 17960

Опубликовано: 28.02.2014

Авторы: Чернов Анатолий Сергеевич, Логвин Владимир Александрович, Логвина Екатерина Владимировна

МПК: C23C 14/48, C23C 14/36, C23C 8/00...

Метки: вакууме, тлеющем, способ, изделий, поверхности, обработки, разряде

Текст:

...14 посредством приводного механизма 15,например винт-гайка от привода 13. На противоположной стороне внизу вакуумной камеры 3 расположен катод 5 на диэлектрической прокладке 6 с возможностью перемещения с помощью устройства 17 перемещения катода 5 по направляющим 18 посредством приводного механизма 19, например винт-гайка от привода 20. На катоде 5 выкладываются изделия 9, на которых необходимо произвести обработку поверхности....

Способ подготовки лигатуры

Загрузка...

Номер патента: 16881

Опубликовано: 28.02.2013

Авторы: Логвина Екатерина Владимировна, Мрочек Жорж Адамович, Логвин Владимир Александрович

МПК: C23C 14/48, C23C 14/36, C23C 8/00...

Метки: способ, лигатуры, подготовки

Текст:

...анодом и катодом, увеличивается. Подвергая лигатуру воздействию пульсирующего тока в процессе обработки, можно значительно повысить энергетический потенциал атомов кристаллической решетки лигатуры с повышением адгезии их поверхностных слоев, тем самым создать условия для проведения структурных изменений в приповерхностных слоях 16881 1 2013.02.28 лигатуры частицами с меньшей потенциальной энергией, повысить производительность,снизить...

Изобретения категории «диодное распыление» в СССР.

Способ обработки изделия в вакууме

Загрузка...

Номер патента: 16595

Опубликовано: 30.12.2012

Авторы: Логвин Владимир Александрович, Логвина Екатерина Владимировна

МПК: C23C 8/00, C23C 14/36, C23C 14/48...

Метки: обработки, вакууме, изделия, способ

Текст:

...камеру 3 и располагают на катоде 5, установленном на диэлектрической прокладке 6 таким образом, чтобы поверхность, которую необходимо обрабатывать, была обращена к аноду 1. Закрывают вакуумную камеру 3. Включают откачной пост 10 для откачки воздуха из вакуумной камеры 3. После создания достаточного разрежения в вакуумной камере 3 включают агрегат форвакуумный 11 для создания разрежения 1,3-13,3 Па, создают между катодом 5 и анодом 1,...

Способ обработки изделия в вакууме

Загрузка...

Номер патента: 16593

Опубликовано: 30.12.2012

Авторы: Логвин Владимир Александрович, Логвина Екатерина Владимировна

МПК: C23C 14/36, C23C 14/48, C23C 8/00...

Метки: вакууме, обработки, изделия, способ

Текст:

...потенциала энергия ионов, исходящих из анода и находящихся в пространстве между анодом и катодом, увеличивается. Подвергая изделия в процессе обработки воздействию импульсов тока, подаваемых с частотой, близкой к собственной резонансной частоте атомов кристаллической решетки материала изделий, можно значительно повысить энергетический потенциал атомов кристаллической решетки материала для повышения параметров качества поверхностного слоя...

Способ обработки механически легированной шихты или изделий из неё

Загрузка...

Номер патента: 16592

Опубликовано: 30.12.2012

Авторы: Котиков Петр Филиппович, Логвин Владимир Александрович, Жолобов Александр Алексеевич, Логвина Екатерина Владимировна

МПК: C23C 8/00, C23C 14/36, C23C 14/48...

Метки: неё, механически, изделий, шихты, легированной, способ, обработки, или

Текст:

...импульсного тока в процессе обработки можно значительно повысить энергетический потенциал атомов кристаллической решетки материала для активации с повышением адгезии поверхностных слоев и повышения износостойкости изделия, тем самым создать условия для проведения структурных изменений в приповерхностных сло 2 16592 1 2012.12.30 ях шихты и материала изделия ионами с меньшей потенциальной энергией, повысить производительность, снизить...

Способ обработки изделия в вакууме и устройство для его осуществления

Загрузка...

Номер патента: 16341

Опубликовано: 30.10.2012

Авторы: Логвина Екатерина Владимировна, Логвин Владимир Александрович

МПК: C23C 14/36, C23C 8/00, C23C 14/48...

Метки: осуществления, вакууме, обработки, изделия, способ, устройство

Текст:

...в пространстве между анодом и катодом, увеличивается. Подвергая изделие воздействию импульсного тока, в процессе обработки можно значительно повысить энергетический потенциал атомов кристаллической решетки материала для повышения износостойкости изделия, тем самым создать условия для проведения структурных изменений в приповерхностных слоях материала изделия ионами с меньшей кинетической энергией, повысить производительность, снизить...

Способ упрочнения изделий

Загрузка...

Номер патента: 16340

Опубликовано: 30.10.2012

Авторы: Логвин Владимир Александрович, Жолобов Александр Алексеевич, Логвина Екатерина Владимировна

МПК: C23C 14/48, C23C 8/00, C23C 14/36...

Метки: упрочнения, способ, изделий

Текст:

...8 может быть дополнительно укомплектован регулятором 13 частоты или постоянной составляющей в виде источника постоянного тока 14. Откачной пост 10 и агрегат форвакуумный 11 служат для откачки воздуха из вакуумной камеры 3. Пример. Обработку по предлагаемому способу осуществляют следующим образом. Изделия 9 помещают в вакуумную камеру 3 и располагают на катоде 5, установленном на диэлектрической прокладке 6 таким образом, чтобы...

Способ получения магнитных пленок в вакууме

Загрузка...

Номер патента: 2509

Опубликовано: 30.12.1998

Авторы: Фигурин Кирилл Борисович, Вершина Алексей Константинович, Фигурин Борис Леонидович, Береснев Александр Николаевич

МПК: C23C 14/36

Метки: вакууме, магнитных, получения, способ, пленок

Текст:

...субструктуры кристаллов вызывает появление магнитного момента (разворота) 2509 1 кристаллов в направлении легкого намагничивания. Оптимизация ориентирующего магнитного воздействия по отношению к процессу кристаллизации нейтрализует негативное влияние внутреннего трения и обеспечивает технический результат. Напыленный материал конденсируется на подложку в аморфном (некристаллическом) состоянии на требуемую толщину. По окончании процесса...