C23C 14/28 — с использованием волновой энергии или облучения частицами

Способ получения тонких пленок для конденсаторных структур

Загрузка...

Номер патента: 18396

Опубликовано: 30.08.2014

Авторы: Завадский Сергей Михайлович, Голосов Дмитрий Анатольевич, Гурский Леонид Ильич, Каланда Николай Александрович

МПК: C23C 14/28, C23C 14/08, H01G 7/06...

Метки: пленок, способ, структур, тонких, конденсаторных, получения

Текст:

...контроля над процессом получения однородных и однофазных пленок 0,540,463 для улучшения их сегнетоэлектрических и структурных ха 2 18396 1 2014.08.30 рактеристик, оптимизация режимов напыления тонких пленок цирконата титаната свинца с целью получения их воспроизводимых физико-химических свойств. Поставленная задача решается за счет того, что при получении тонкой пленки цирконата титаната свинца первоначально изготавливают мишень, а затем...

Технологическая оснастка для установки ионно-лучевой обработки деталей

Загрузка...

Номер патента: U 9112

Опубликовано: 30.04.2013

Авторы: Колесникова Алла Алексеевна, Белый Алексей Владимирович, Карпович Анна Николаевна, Биленко Эдуард Григорьевич

МПК: C23C 14/28

Метки: обработки, установки, технологическая, оснастка, ионно-лучевой, деталей

Текст:

...которого смонтирована в опорных направляющих, смонтированных соответственно на двух нижних опорах, при этом вертикальный формирующий держатель деталей закреплен непосредственно на зубчатой рейке, а верхняя направляющая держателя деталей кинематически через позиционирующий ролик связана с верхней опорой формирующего держателя деталей. Технический результат объекта промышленной собственности реализован путем универсализации и применения...

Установка для вакуумной обработки деталей

Загрузка...

Номер патента: U 9116

Опубликовано: 30.04.2013

Авторы: Колесникова Алла Алексеевна, Биленко Эдуард Григорьевич, Белый Алексей Владимирович, Карпович Анна Николаевна

МПК: C23C 14/28

Метки: установка, вакуумной, деталей, обработки

Текст:

...для свертки конусообразной обечайки. Установка для вакуумной обработки по фиг. 1, 2 деталей, изделий и заготовок содержит вакуумную камеру 1, внутри которой размещены ионно-лучевой источник 2, источник нагрева 3 и поворотный держатель деталей 4. Поворотный держатель деталей 4 выполнен в виде барабана, образованного верхним и нижним кольцевыми контурами 5, 6. Наружная обечайка барабана имеет форму беличьей клетки. Обечайка образована...

Способ формирования на подложке тонкой алмазоподобной пленки посредством вакуумной лазерной абляции

Загрузка...

Номер патента: 16615

Опубликовано: 30.12.2012

Авторы: Петров Сергей Александрович, Шаронов Геннадий Викторович

МПК: C23C 14/28

Метки: способ, пленки, вакуумной, абляции, тонкой, лазерной, алмазоподобной, посредством, формирования, подложке

Текст:

...осуществлялось с использованием регулируемой оптической линии задержки, состоящей из 4 зеркал (фигура,, - интенсивность лазерного излучения,- длительность первого лазерного импульса по уровню 0,1,- время задержки второго импульса). Первый лазерный импульс, падающий на графит, расходует свою энергию на его разогрев и испарение. Энергия второго импульса служит источником доионизации лазерно-эрозионной плазмы и повышения температуры и...

Установка для получения алмазоподобных пленок

Загрузка...

Номер патента: U 2326

Опубликовано: 30.12.2005

Авторы: Шалупаев Сергей Викентьевич, Шершнев Алексей Евгеньевич, Морозов Владимир Петрович

МПК: C23C 14/28

Метки: получения, установка, алмазоподобных, пленок

Текст:

...Достижение указанного технического результата обеспечивается тем, что в установке для нанесения алмазоподобных пленок, содержащей лазер, формирующий объектив, ва 2 23262005.12.30 куумную камеру и расположенные внутри нее ионно-лучевой источник, держатель мишени и держатель подложки, на которую осаждается испаряемый материал мишени, ионнолучевой источник и держатель мишени последовательно установлены на оптической оси установки по...

Установка для получения алмазоподобных пленок

Загрузка...

Номер патента: U 1980

Опубликовано: 30.06.2005

Авторы: Шершнев Алексей Евгеньевич, Морозов Владимир Петрович, Никитюк Юрий Валерьевич, Шалупаев Сергей Викентьевич

МПК: C23C 14/28

Метки: получения, алмазоподобных, установка, пленок

Текст:

...временное распределение интенсивности в пичках импульсов, что способствует повышению однородности состава плазмы эрозионного факела и приводит к значительному уменьшению попадания крупных осколков материала мишени на подложку. Выполнение формирующего объектива в виде оптической системы для формирования лазерного пучка в пучок кольцевого сечения приводит к существенному увеличению как телесного угла разлета продуктов испарения, так и вь 1...

Способ получения алмазоподобных углеродных пленок

Загрузка...

Номер патента: 6030

Опубликовано: 30.03.2004

Авторы: Зайцев Валентин Алексеевич, Шершнев Евгений Борисович, Шолох Владимир Федорович, Старовойтов Александр Семенович, Федосенко Николай Николаевич, Никитюк Юрий Валерьевич, Шалупаев Сергей Викентьевич

МПК: C23C 14/28

Метки: получения, способ, алмазоподобных, углеродных, пленок

Текст:

...перенасыщения, необходимые для эффективного формирования пленки. Структура и время существования термолизованной области, а также энергетическое распределение испаренных частиц мишени, из которых состоит эрозионный факел, напрямую зависят от параметров лазерного излучения профиля импульса, плотности мощности энергии в импульсе, длительности импульса. При воздействии на мишень импульсом лазерного излучения состав эрозионного факела...

Способ получения антимикробного материала, тонкозернистый антимикробный материал и способ его получения

Загрузка...

Номер патента: 5421

Опубликовано: 30.09.2003

Авторы: Прасад Шрикришна АПТЕ, Садхиндра Бхарат САНТ, Родерик Джон ПРИХТ, Катрин Лаури МАКИНТОШ, Лэрри Рой МОРРИС, Роберт Эдвард БАРРЕЛЛ, Кашмир Сингх ДЖИЛЛ

МПК: A61L 31/08, A01N 59/16, C23C 14/14...

Метки: материал, получения, материала, антимикробного, антимикробный, способ, тонкозернистый

Текст:

...по п. 21, отличающийся тем, что величина отношения температуры его рекристаллизации к температуре его плавления, в градусах Кельвина (Т рек./Т пп.), составляет менее 0,3.23. Материал по п. 21, отличающийся тем, что имеет температуру рекристаллизации менее 140 С.24. Материал по п. 23, отличающийся тем, что имеет размер частиц менее 200 нм.25. Материал по п. 23, отличающийся тем, что имеет размер частиц менее 140 нм.26. Материал по п. 23,...

Установка для получения алмазоподобных пленок

Загрузка...

Номер патента: U 323

Опубликовано: 30.09.2001

Авторы: Никитюк Юрий Валерьевич, Морозов Владимир Петрович, Старовойтов Александр Семенович, Федосенко Николай Николаевич, Зайцев Валентин Алексеевич, Шалупаев Сергей Викентьевич, Шершнев Евгений Борисович

МПК: C23C 14/28

Метки: алмазоподобных, установка, получения, пленок

Текст:

...эффекта являются повышение качества получаемых покрытий и надежности работы установки, рост ее производительности за счет сокращения времени простоя и наладки. Достижение указанного технического результата обеспечивается тем, что установка для нанесения алмазоподобных пленок, содержащая рабочий лазер, формирующий объектив, вакуумную камеру и расположенные внутри нее держатели с мишенью и подложкой, на которую осаждается испаряемый материал...

Способ получения алмазоподобной пленки

Загрузка...

Номер патента: 2936

Опубликовано: 30.09.1999

Авторы: Ширипов Владимир Яковлевич, Федосенко Геннадий Николаевич, Федосенко Николай Николаевич, Емельянов Виктор Андреевич

МПК: C23C 14/28, C30B 23/02, C30B 29/04...

Метки: получения, пленки, способ, алмазоподобной

Текст:

...на фиг. 1 - вакуумная установка для нанесения алмазоподобной пленки лазерным способом фиг. 2 - спектр электронного парамагнитного резонанса алмазоподобной пленки, полученной заявляемым способом фиг. 3 - спектр комбинационного рассеяния света алмазоподобной пленки, полученной заявляемым способом фиг. 4 - спектр комбинационного рассеяния аморфной графитоподобной пленки фиг. 5 - спектр комбинационного рассеяния аморфной углеродной пленки....

Способ получения электропроводящего прозрачного покрытия из оксида индия

Загрузка...

Номер патента: 960

Опубликовано: 15.12.1995

Авторы: Танасейчук Алексей Станиславович, Шершнев Евгений Борисович, Федосенко Николай Николаевич

МПК: C23C 14/28, C23C 14/08

Метки: способ, электропроводящего, покрытия, оксида, индия, прозрачного, получения

Текст:

...и значительно снижают величину удельного сопротивления.При оптимальных технологических режимах напыления величина светопропускания превышает 93.Ионизация кислорода и азота необходима при осуществлении предлагаемого способа. Она позволяет использовать привзаимодействии атомарный кислород и азот, что химически более оправдано, чем использование молекулярных компонентов газовой смеси. Плазма разряда эффективно стимулирует...

Способ получения пленок металлооксидных высокотемпературных сверхпроводников

Загрузка...

Номер патента: 358

Опубликовано: 30.03.1995

Авторы: Свиридович Олег Григорьевич, Точицкий Эдуард Иванович, Рубан Геннадий Иосифович

МПК: C23C 14/28

Метки: металлооксидных, способ, сверхпроводников, получения, пленок, высокотемпературных

Текст:

...на атомах вподложке. я двухступенчатый напуск кислорода впленки необходимдля обеспечения 1) фа- .зового перехода тетрагональной структуры в орторомбическую и 2) насыщения этой фазы кислородом до оптимальной величины т с определеннымсодержанием и упорядочением -в кислородной подсистеме- ортором бической фазы. При давлении-г кислородаболее 133 па и менее 40 Па на первом этапепленки при этому наблюдается также нео днородность состава пленки...