Бересневич Людмила Брониславовна

Пленкообразующая композиция для диффузии алюминия в кремний

Загрузка...

Номер патента: 12893

Опубликовано: 28.02.2010

Авторы: Бересневич Людмила Брониславовна, Солодуха Виталий Александрович, Глухманчук Владимир Владимирович, Соловьев Ярослав Александрович, Мойсейчук Сергей Владимирович, Турцевич Аркадий Степанович

МПК: H01L 21/02

Метки: пленкообразующая, алюминия, диффузии, кремний, композиция

Текст:

...позволяет снизить количество неконтролируемых примесей и улучшить 2 12893 1 2010.02.28 качество легированных стекол для диффузии алюминия. При содержании ТЭОС менее 15,0 мас.в осажденных пленках содержится недостаточно нитрата алюминия для обеспечения требуемого содержания диффузанта, и глубина диффузии уменьшается. При содержании ТЭОС более 17,0 мас.образуется студенистая масса, которая непригодна для нанесения пленок диффузанта...

Композиция для получения твердых источников бора при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных схем

Загрузка...

Номер патента: 11789

Опубликовано: 30.04.2009

Авторы: Глухманчук Владимир Владимирович, Кузик Сергей Владимирович, Ануфриев Дмитрий Леонидович, Турцевич Аркадий Степанович, Бересневич Людмила Брониславовна, Мойсейчук Константин Леонидович

МПК: H01L 21/02

Метки: получения, бора, полупроводниковых, приборов, композиция, твердых, изготовлении, источников, интегральных, схем

Текст:

...мас.затрудняется процесс создания ТИБ и снижается их качество. Аэросил, представляющий собой мелкодисперсную (размер частиц 5-20 нм) двуокись кремния, служит загустителем, что способствует поддержанию во взвешенном состоянии частиц оксида бора при смешивании компонентов диффузанта и нанесении их на поверхность кремниевой подложки для создания твердого источника бора. При содержании аэросила менее 2,5 мас.затрудняется процесс нанесения пасты...

Пленкообразующая композиция для получения твердых источников бора при изготовлении полупроводниковых приборов

Загрузка...

Номер патента: 9140

Опубликовано: 30.04.2007

Авторы: Ануфриев Леонид Петрович, Бересневич Людмила Брониславовна, Шильцев Владимир Викторович, Мойсейчук Константин Леонидович, Турцевич Аркадий Степанович

МПК: H01L 21/225

Метки: полупроводниковых, композиция, твердых, источников, бора, получения, приборов, изготовлении, пленкообразующая

Текст:

...следующим образом.В качестве растворителя избран н-бутиловый спирт, поскольку в нем легко растворим ТЭОС и образующиеся олигополимеры (продукты неполного гидролиза ТЭОС), а также вода. Кроме того, он менее летуч и обладает большой вязкостью, чем обычно применяемые в пленкообразующих композициях растворители (этиловый спирт).При содержании ТЭОС в композиции менее 25 мас. происходит быстрое осаждение взвешенного оксида бора за счет...