Бересневич Людмила Брониславовна

Пленкообразующая композиция для диффузии алюминия в кремний

Загрузка...

Номер патента: 12893

Опубликовано: 28.02.2010

Авторы: Солодуха Виталий Александрович, Глухманчук Владимир Владимирович, Бересневич Людмила Брониславовна, Турцевич Аркадий Степанович, Мойсейчук Сергей Владимирович, Соловьев Ярослав Александрович

МПК: H01L 21/02

Метки: композиция, кремний, диффузии, пленкообразующая, алюминия

Текст:

...позволяет снизить количество неконтролируемых примесей и улучшить 2 12893 1 2010.02.28 качество легированных стекол для диффузии алюминия. При содержании ТЭОС менее 15,0 мас.в осажденных пленках содержится недостаточно нитрата алюминия для обеспечения требуемого содержания диффузанта, и глубина диффузии уменьшается. При содержании ТЭОС более 17,0 мас.образуется студенистая масса, которая непригодна для нанесения пленок диффузанта...

Композиция для получения твердых источников бора при изготовлении полупроводниковых приборов и интегральных схем

Загрузка...

Номер патента: 11789

Опубликовано: 30.04.2009

Авторы: Ануфриев Дмитрий Леонидович, Мойсейчук Константин Леонидович, Глухманчук Владимир Владимирович, Кузик Сергей Владимирович, Турцевич Аркадий Степанович, Бересневич Людмила Брониславовна

МПК: H01L 21/02

Метки: композиция, схем, полупроводниковых, бора, приборов, изготовлении, получения, твердых, интегральных, источников

Текст:

...мас.затрудняется процесс создания ТИБ и снижается их качество. Аэросил, представляющий собой мелкодисперсную (размер частиц 5-20 нм) двуокись кремния, служит загустителем, что способствует поддержанию во взвешенном состоянии частиц оксида бора при смешивании компонентов диффузанта и нанесении их на поверхность кремниевой подложки для создания твердого источника бора. При содержании аэросила менее 2,5 мас.затрудняется процесс нанесения пасты...

Пленкообразующая композиция для получения твердых источников бора при изготовлении полупроводниковых приборов

Загрузка...

Номер патента: 9140

Опубликовано: 30.04.2007

Авторы: Шильцев Владимир Викторович, Бересневич Людмила Брониславовна, Ануфриев Леонид Петрович, Мойсейчук Константин Леонидович, Турцевич Аркадий Степанович

МПК: H01L 21/225

Метки: источников, композиция, получения, бора, изготовлении, твердых, приборов, пленкообразующая, полупроводниковых

Текст:

...следующим образом.В качестве растворителя избран н-бутиловый спирт, поскольку в нем легко растворим ТЭОС и образующиеся олигополимеры (продукты неполного гидролиза ТЭОС), а также вода. Кроме того, он менее летуч и обладает большой вязкостью, чем обычно применяемые в пленкообразующих композициях растворители (этиловый спирт).При содержании ТЭОС в композиции менее 25 мас. происходит быстрое осаждение взвешенного оксида бора за счет...