B81C — Способы или устройства, специально предназначенные для изготовления или обработки микроструктурных устройств или систем

Устройство для контроля толщины наносимого вакуумного покрытия

Загрузка...

Номер патента: U 8619

Опубликовано: 30.10.2012

Авторы: Комаров Фадей Фадеевич, Пилько Владимир Владимирович

МПК: B81C 1/00, G01B 7/06

Метки: устройство, контроля, толщины, вакуумного, покрытия, наносимого

Текст:

...пластины и сопротивление переменного резистора пропорциональны толщине наносимого вакуумного покрытия. В результате применения устройства становится возможным контроль толщины вакуумных покрытий от 0,1 до 5 мкм. Сущность полезной модели поясняется фигурой. Устройство включает рабочую камеру 1 с герметичным разъемом 2, размещенные в камере источник осаждаемого материала 3, источник света 4, экран из непрозрачного материала с отверстием 5,...